NOVINKY VE VĚDĚ A TECHNICE



¡Ústav elektroniky a fotoniky:
¡Zabývá se vývojem technologii v oblasti polovodičové elektroniky, vývojem nových materiálů a
elektronických struktur, nových obvodových, systémových a integračných řešení, ale i efektivních
systémů pro diagnostiku, analýzu, modelování, simulaci a automatizovaný návrh.
http://www.fei.stuba.sk/images/menu/fakulta-w.jpg

IMG_20170214_132705.jpg



¡Chemická depozice z plynné fáze - (CVD - Chemical Vapor Deposition) je chemický proces využívaný
pro přípravu tenkých filmů (např. polovodičový průmysl).
¡Fyzikální depozice ve vakuu - (PVD - Physical vapor deposition) vakuová depozice používaná k
výrobě tenkých filmů a povlaků (nanášení odpařením z pevné fáze).

¡Existuje poměrně velké množství modifikací této metody používaných pro přípravu tenkých filmů,
například:
¡CVD za atmosférického tlaku
¡Epitaxe atomových vrstev
¡CVD v přítomnosti aerosolu
¡CVD organokovových prekurzorů
¡CVD podporované plazmatem
¡
¡Příprava diamantu:
¡http://www.chempoint.cz/priprava-diamantu-plazmochemickou-depozici-z-plynne-faze
¡

¡Diamantové tenké vrstvy je možné využít pro povlaky odolné vůči mechanickému opotřebení, díky
vysoké tepelné vodivosti jsou také vhodné pro tepelnou správu integrovaných obvodů. Po dopování se
z diamantu stává polovodič a je možné ho využít v elektronice. Tyto a mnohé další aplikace činí
diamantové vrstvy připravené plazmochemickou depozicí z plynné
¡fáze perspektivní pro
¡nanotechnologie
¡a materiálové inženýrství.
¡
http://www.chempoint.cz/data/imgs/00614l.jpg

IMG_20170214_133306.jpg















¡PVD, physical vapour deposition - nanášení odpařením z pevné fáze, je technologie přípravy zhruba
2μm tenkých vrstev vynikajících fyzikálními i chemickými vlastnostmi. Nízkým třením, vysokou
tvrdostí, odolností vůči otěru, vysoké teplotě (standardně 550°C, ale i 750°C a více), korozi i
kyselinám. Jsou přímou cestou ke zvýšení produktivity.
¡https://www.pvd.cz/
¡
¡

IMG_20170214_150938.jpg















¡http://www.fei.stuba.sk/
¡http://uef.fei.stuba.sk/uef/o-nas/mikroelektronika/
¡https://cs.wikipedia.org/wiki/Chemick%C3%A1_depozice_z_plynn%C3%A9_f%C3%A1ze
¡https://en.wikipedia.org/wiki/Physical_vapor_deposition
¡http://www.chempoint.cz/priprava-diamantu-plazmochemickou-depozici-z-plynne-faze
¡https://www.pvd.cz/
¡
¡
¡
¡
¡