Laboratoř polovodičů – čisté prostory
Laboratoř se nachází na Masarykově univerzitě v ústavu fyziky kondenzovaných látek. Na projektu
spolupracovala s firmou ON Semiconductor Czech Republic Rožnov pod Radhoštěm. Laboratoř je
určena především pro přípravu studentů fyziky a (mikro)elektroniky ve specifických čistých prostorách.
Výroba polovodičových
součástek
Nejjednodušší způsob výroby
polovodičových součástek obsahuje pouze
jeden fotolitografický krok. Takto je
možné vyrobit tyto pasivní diskrétní
součástky: rezistor, kondenzátor a
induktor. Součástky vzniknou ve vrstvě
metalizace (naprášená vrstva hliníku)
izolovaného vrstvou SiO2 na substrátu.
Pracovní postup výroby pasivních součástek
Křemíkovou desku vložíme do pece při 8000
C. najedeme na teplotu 1050 0
C a
stabilizujeme. Mokrá oxidace, čas zvolíme podle tloušťky oxidu, sestup na
8000
C. Změříme tloušťku oxidu. V naprašovačce naprášíme vrstvu hliníku. Na
desku naneseme fotorezist v rotační lakovce. Fotorezist vyhřejeme na horké
plotně při teplotě 85-900
C. Desku exponujeme v zařízení Perkin – Elmer 340
přes masku. Desku vyvoláme ve vývojce, ustalovači a opláchneme vodou.
Zkontrolujeme mikroskopem a vyhřejeme fotorezist na horké plotně při teplotě
1100
C. Vyleptáme hliník při teplotě 500
C a opláchneme desku
v demineralizované vodě. Usušíme v centrifuze. Zbylý fotorezist smyjeme
acetonem. Osušíme a zkontrolujeme mikroskopem.
Čistota a bezprašnost
laboratoře
Bezprašnost, čistota a používání speciálních přípravků
a vysoce čistých médií jsou nezbytné při přípravě
obvodů či systémů při mikrometrových rozměrech,
kde přímá přístupnost prachových částic či jiná
kontaminace má fatální důsledky pro funkčnost
vyrobených systémů. Bezprašnost v laboratoři je
zaručena použitím jemných filtrů a zajištěním
laminárního proudění vzduchu od stropu k podlaze.
Kromě bezprašnosti umožňuje klimatizace laboratoře
dodržet přesně definované parametry tepoty a vlhkosti.
Skupina č.2: Filip Tesař, Petra Mácová, Marcela
Dvořáková, Michaela Kubecová, Pavla Kubínová, Hana
Šťastná, Michal Čech