Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 1
Měření proudu plynu
I = Sp[P a m3
s-1
]
I = G(p2 - p1)
* Pomocí průtokoměru (plovákový, elektronický)
* Pomocí prvku se znamou vakuovou vodivostí
* Pomocí kalibrované byrety a pracovní kapaliny
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 2
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 3
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 4
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 5
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 6
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 7
Vakuové tuky a tmely
Druh materiálu užití max pracovní teplota o
C tenze par [Pa] při 25 o
C
maz L zábrus 30 10-5
- 10-7
maz M zábrus 30 10-3
- 10-5
maz N kohout 30 10-4
- 10-5
maz T zábrus 110 10-5
tmel picein spoje 60 10-2
- 10-3
Vakuová hygiena
Čistota povrchů, odmašťování, vyčištěné dílů se dotykat pouze v rukavicích.
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 8
Prvky vakuových aparatur
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 9
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 10
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 11
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 12
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 13
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 14
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 15
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 16
Rozdělení vakua 2
vakuum tlak [mbar] tlak [Pa]
nízké (GV), 103
- 100
105
- 102
hrubé, technické
střední (FV) 100
- 10-3
102
- 10-1
vysoké (HV) 10-3
- 10-7
10-1
- 10-5
velmi vysoké (UHV) 10-7
- 10-10
10-5
- 10-8
extremě vysoke (XHV) < 10-10
< 10-8
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 17
Rozdělení vakua
vakuum nízké (GV) střední (FV) vysoké (HV) velmi vysoké (UHV) a
extrémně vysoké (XHV)
tlak [P a] 105
- 102
102
- 10-1
10-1
- 10-5
< 10-5
koncentrace [cm-3
] 1019
- 1016
1016
- 1013
1013
- 109
< 109
střední dráha [cm] < 10-2
10-2
- 101
101
- 105
> 105
monovrstva  [s] < 10-5
10-5
- 10-2
10-2
- 102
> 102
typ proudění viskózní Knudsenovo molekulární molekulární
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 18
Navazující přednášky:
* Vakuová fyzika 2 - F6450
­ Vázané plyny
­ Sorpční vývěvy
 kryogenní
 zeolitové
 sublimační
 iontové
 nevypařované getry -NEG
­ Měření ve vakuové fyzice
 měření proudu plynu
 měrění tenze par plynu
­ Konstrukční prvky vakuových zařízení - vhodné materiály, spoje,...
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 19
* Experimentální metody a speciální praktikum A 1 - F7541
1. Graduace ionizačního manometru se žhavenou katodou
(a) Změřte závislost kolektorového proudu na emisním proudu pří
konstantním tlaku.
(b) Změřte závislost kolektorového proudu na tlaku při konstantním emisním
proudu.
2. Měření vodivosti vakuových spojů
(a) Spočítejte teoretické hodnoty vodivosti daného spoje za předpokladu
molekulárního, respektive laminárního proudění plynu.
(b) Naměřte vodivost spoje G pro různé rozdíly tlaků a porovnejte ji s
teoretickým výpočtem.
3. Kalibrace Piraniho manometru
(a) Nakalibrujte Piraniho manometr pro dvě různé teploty a různé plyny.
Vakuová fyzika 1, P.Slavíček 20
4. Graduace Peningova manometru
(a) Změřte závislost výbojového proudu Peningova manometru na napětí.
(b) Změřte závislost výbojového proudu Peningova manometru na proudu
cívkou magnetu.
(c) Změřte kalibrační křivku Peningova manometru.
5. Čerpací efekt molekulového síta
(a) Zregenerujte molekulové síto.
(b) Sledujte tlak v čerpaném objemu v závislosti na teplotě.
6. Hmotový spektrometr
(a) Seznamte se s obsluhou a funkcí hmotového spektrometru
(b) Zjistěte složení plynů ve vakuové aparatůře při různých tlacích tlaku