Rotační vývěvy z čerpaného systému výsfup (do primárni vývevy) S 4 Uq Obr. 4.8. Gaedeho rotační rtuťová výveva J — rotor; 2 — stator; 3,5,6,8 — časti komory, 4,7 — otvory □ @> -T) Q^O Rotační olejová výveva s šoupatkem ve statoru □ s - = -=o<^o Rotační olejová výveva s kolujícím rotorem a přepážkou □ g - = ^(^(V Rotační olejová výveva s kolujícím rotorem a čtyřhrannou trubicí □ tg? - = -šOo^O Rotační olejová lopatková vývěvy □ g - = škodlivý prostor vystup /stup □ g - = ^ -00,0 Dvoustupňové provedení pro dosažení menšího mezního tlaku □ &\ ■E "O ^ O" Gasballast - proplachování Odčerpávaný plyn může obsahovat složky, které kondenzují při vyšším tlaku, zejména vodní pára. • Pp parciální tlak vodní páry při pracovní teplotě vývěva • Pr tenze vodní páry při pracovní teplotě • K = patm kompresní poměr * vstup ke kondenzaci dochází pokud PpK > Pr □ s -WkPo--93kfb □ ► •< S = š -o <\o Rotační olejová výveva • pracuje od atmosférického tlaku • mezní tlak pro dvoustupňové provedení ÍO-2 Pa • počet otáček 300 — 1500 min-1 - při zvýšení otáček nadměrné zahřívání • do čerpaného prostoru se dostávají páry oleje • vibrace • funkce oleje • utěsňuje a vyrovnává nerovnosti povrchu ve vývěvě, olej vytváří na stěně tenký film • zmenšuje tření, zlepšuje chlazení, přispívá k odvodu tepla • vyplňuje škodlivý prostor □ s požadavky na olej • nízká tenze par ~ 10~3 Pa • vhodné mazací vlastnosti • stálost proti štěpení a oxidaci, při zahřátí může docházet ke štěpení na složky, které mají vyšší tenzi par, rovněž oxidací mohou vzniknout složky s vyšší tenzi par Membránová vývěva □ g - = •ŕ} Q^O Membránová vývěva • pracuje od atmosférického tlaku • mezní tlak ~ 102 Pa suchá výveva, bez oleje • zpravidla více komor • řazení sériové - nižší mezní tlak řazení paralelní - větší čerpací rychlost Scroll vývěva ČERPÁM/ PLYN □ g - = □ S ~ = -šOQvO Scroll vývěva • pracuje od atmosférického tlaku • mezní tlak ~ 10° Pa suchá výveva, bez oleje • varianta zcela bez oleje odělena vlnovcem • využití zejména jako předčerpávací vývěva pro turbomolekulární vývěvy Vývevy s neproměnným pracovním prostorem U těchto typů vývěv získávají molekuly plynu dodatečnou složku rychlosti ke svému chaotickému pohybu ve směru čerpání. Předávaný impulz není důsledek stlačení předem odděleného plynu, většina těchto vývěv vyžaduje předčerpaní na nižší tlak. Root sova vývěva □ s 1 -o^o Rootsova vývěva • potřebuje předčerpat na tlak asi 102 Pa • mezní tlak ~ 10~3 Pa • počet otáček ~ 1000 min-1 suchá vývěva, bez oleje • velká čerpací rychlost • mezera mezi rotory ~ 10_1 mm • vícestupňové provedení pracuje i od atmosférického tlaku(mezní tlak 10°Pa) Claw (drapáková) vývěva A Inlet exposed C Guild exposed B Inlet isolďsd D O ulití isolatoc □ g - = Claw vývěva • pracuje od atmosférického tlaku • mezní tlak ~ 10_1 Pa suchá výveva, bez oleje • vícestupňové provedení • velká čerpací rychlost maximální čerpací rychlost při nižším tlaku Molekulární vývěva I t □ S - = -e -o<\(y při vyšších tlacích proudění vlivem viskozity plynu při nižších tlacích je konstantní kompresní poměr K = ^ = ebu b je konstanta závislá na plynu, u je obvodová rychlost Teoretická čerpací rychlost St = -ulh, /-délka prac komory, h-šířka prac komory Molekulární vývěva • potřebuje předčerpat na tlak asi 101 Pa • mezní tlak ~ 10~4 Pa • počet otáček ~ 10000 min-1 suchá vývěva, bez oleje • mezera mezi rotorem a tělem vývěvy ~ 10_1 mm Turbomolekulární vývěva ^^^\ □ s - 1 -o 0,0 □ @> - = i ^Q,o Turbomolekulární vývěva • potřebuje předčerpat nejčastěji membránovou, nebo rotační vývěvou • mezní tlak ~ 10~9 Pa • počet otáček až 90000 min-1 suchá vývěva, bez oleje • mezera mezi rotorem a statorem ~ 10° mm Turbomolekulární vývěva Keramická kuličková ložiska Magnetcká ložiska - mohou ovlivňovat citlivá měření Molekulární stupeň - větší výstupní tlak, předčerpání nejčastěji membránovou vývevou, bez molekulárního stupně nutný nižší tlak na výstupu, předčerpání nejčastěji rotační olejovou vývěvou