Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav

8. Magnetronové naprašování / 8.1 Úvod - 8.2 Fyzika rozprašování

  • Úvodní pojmy
  • Historie

 

  • Vliv energie dopadající částice
  • Výpočet výtěžnosti rozprašování
  • Vliv úhlu dopadu na výtěžnost rozprašování
slides_08_magnetron.pdf
Předchozí
Následující