Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav
8. Magnetronové naprašování / 8.3 Vlastnosti rozprášených částic - 8.4 Systémy využívající plazma
- Energie a směr rozprášených částic
- Transport rozprášených částic
- Fyzikální základy
- Realizace v praxi
- Vliv konfigurace