Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav
4. Přehled procesů / 4.2 Interakce iontů s pevnou látkou
2. hodina:
- základní přehled procesů indukovaných dopadem iontu na povrch pevné látky
- přehled využití interakce iontů s pevnou látkou (sputter-etching, sputter-deposition, ion assisted deposition, characterization of thin films and surfaces by ion beam tecchniques)
3. hodina:
- kinematika binárních elastických srážek
- účinný průřez
- dynamika binárních elastických srážek
- interační potenciály
4. hodina:
- ion stopping
- ion range
- radiation damage
- thermal spike