Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav

4. Přehled procesů / 4.2 Interakce iontů s pevnou látkou

2. hodina:

  • základní přehled procesů indukovaných dopadem iontu na povrch pevné látky
  • přehled využití interakce iontů s pevnou látkou (sputter-etching, sputter-deposition, ion assisted deposition, characterization of thin films and surfaces by ion beam tecchniques)

3. hodina:

  •  kinematika binárních elastických srážek
  •  účinný průřez
  •  dynamika binárních elastických srážek
  •  interační potenciály

4. hodina:

  • ion stopping
  • ion range
  • radiation damage
  • thermal spike