Scroll výveva
F4160   2 1 35
Scroll vývěva
• pracuje od atmosférického tlaku
• mezní tlak ~ 100 Pa
• suchá vývéva, bez oleje
• varianta zcela bez oleje odelena vlnovcem
• výuzití zejmena jako predcerpavací váveva pro turbomolekularní vávevý
F4160        3 / 35
Razení vývěv do serie
() F4160        4 / 35
Vývevy s neproměnným pracovním prostorem
U těchto typů vývěv získávají molekuly plynu dodatečnou složku rychlosti ke svěmu chaotickému pohybů ve směru čerpání. Predívaný impulz není dusledek stlacení predem oddeleneho plynu, vetsina techto vývev vyžaduje predcerpaní na nižsí tlak.
F4160        5 / 35
Rootsova výveva
o
Rootsova vývěva
• potrebuje predcerpat na tlak asi 102 Pa
• mezní tlak ~ 10-3 Pa
• pocet otáček ~ 1000 min-1
• suchá výveva, bez oleje
• velká čerpací rýchlost
• mezera mezi rotorý ~ 10-1 mm
• vícestupňove provedení pracuje i od atmosferickeho tlaku(mezní tlak 100Pa)
□    &i -
F4160
11 / 35
Claw (drapáková) výveva
o
□   &> -
F4160
12 / 35
Claw (drapáková) vývěva
• pracuje od atmosférického tlaku
• mezní tlak ~ 10-1 P a
• suchá vývéva, bez oleje
• vícestupňove provedení
• velká Čerpací rýchlost
• maximální cerpací rýchlost pri nižším tlaku
13 / 35
F4160
Molekulárni vývěva
o
□   &> -
F4160
14 / 35
pri vyssích tlacích proudení vlivem viskozity plynu pri nižsích tlacích je konstantní kompresní pomer
K = ^ = ebu Pn
b je konstanta zavislí na plynu, u je obvodova rychlost Teoreticka cerpací rychlost
St = 1 ulh,
l-delka prac komory, h-sírka prac komory
15 / 35
()
F4160
□     s>      -      =     1 o^o
() F4160        16 / 35
S1
1T j 35
o
"O ^ O'
1S / 35
Molekulárni výveva
• potrebuje predcerpat na tlak asi
• mezní tlak ~ 10-4 Pa
• pocet otícek ~ 10000 min-1
• suchí výveva, bez oleje
• mezera mezi rotorem a telem vívevý ~ 10-1 mm
F4160 19 / 35
Turbomolekulární výveva
o
□       g -
F4160        20 / 35
Turbomolekulární výveva
• potrebuje predčerpat nejčastěji membránovou, nebo rotační vývevou
• mezní tlak ~ 10-9 Pa
• počet otaček 24000 - 90000 mín"1
• sucha výveva, bez oleje
• mezera mezi rotorem a statorem ~ 100 mm
□ g -
F4160        23 / 35
Turbomolekulárni výveva
Keramická kuličková ložiska
Magneteká ložiska - mohou ovlivňovat citlivá merení Molekulární stupeň - vetsí vístupní tlak, predCerpaní nejčasteji membránovou vývevou, bež molekulírního stupne nutní nižší tlak na vístupu, predCerpaní nejčasteji rotační olejovou vívevou
□ S -
F4160        24 / 35
Čerpací rychlost turbomolekulární vývěvy
S0 = 2 Avsinacosa
G o = 4 Ava
„       SoGo Av
So + Go    4( va + i;
c      Sk d/v
A  4( va + i)
?2 D2\
kde d/ ~ 0.9, A =        - Rg), v = n f (R + Rb)
F4160        25 / 35
S = 2bhvcosa
□        S        -        =        š -0Q>0
F4160        30 f 35
□       S" -
F4160     31 / 35
()
□      S1 -
F4160        33 I 35
Doba nutná pro vyčerpaní reaktoru pro nízkě tlaky
(< 10~4mbar)
S (p - Po)
mater.	oprac.	qdes[ scm2 ](1 h)	qdes[^](4 h)	qdes[^](10 h)
nerez	leštená	2 x 10-8	4 x 10-9	2 x 10-10
nerez	pískovaná	3 x 10-10	6.5 x 10-11	4 x 10-11
dural		6 x 10-8	1.7 x 10-8	1.1 x 10-8
sklo		4.5 x 10-9	1.1 x 10-9	5.5 x 10-10
viton		1.2 x 10-6	3.6 x 10-7	2.2 x 10-7
viton	zahrátí 4 h	1.2 x 10-9	3.3 x 10-10	2.5 x 10-10
F4160        35 / 35