Měřeni proudu plynu
I = Sp[Pa m3s 1] I = G(p2 - Pi)
• Pomocí průtokoměru (plovákový, elektronický)
• Pomocí prvku se známou vakuovou vodivostí
• Pomocí kalibrovaně býretý a pracovní kapaliny
F4160        1 / 20
Plynová byreta
Obr. 5.94. Jednoduché zařízení na měření a přípravu určitého proudu plynu ľ - zásobník; 1" - trubice; 2 - k nádobě s kapalinou; 3 - kohouty; 4 - vpouštěcí kohouty; 5 — k vakuové aparatuře
F4160        2 / 20
Měření pomocí vodivosti
fLx JI
17 t k výveve
Obr. 5.95. Vakuové zařízení pro měřeni proudu plynu
1,2 - vakuometry; G - trubice se známou vodivosti
I = G(pi - P2)
&1 ~
F4160        5 / 20
Vakuové tuky a tmely
Druh materiálu	užití	max T [oC]	Pp [Pá] pri 25 oC
maz L	zabrus	30	10-5 - 10-7
maz M	žábrus	30	10-3 - 10-5
maz N	kohout	30	10-4 - 10-5
maz T	zábrus	110	10-5
tmel picein	spoje	60	10-2 - 10-3
Vákuová hygiena
Čistotá povrchu, odmašťování, vycistenách dílu se dotykát pouze v rukavicích.
F4160        7 / 20
Rozebíratelné spoje
• ISO-KF , (NW)
• ISO-K, ISO-F
• CF
F4160        9 / 20
ISO-KF
□       S" -
F4160     10 / 20
ISO-K, ISO-F
o
F4160        11 / 20
□       &l -
F4160
13 / 20
Sealants
	Temperature range	Reusable
Elastomer		
Neoprene (CR)	-40 to 100 °C	yes
Viton(FPM)	-15 to 150 °C	yes
Metals		
Indium	-196 to 60 °C	yes
Aluminum	-196 to 200 °C	no
Copper	-196 to 200 °C	no
Copper, silver-plated	-270 to 450 °C	no
F4160 14 / 20
Load lock
15 / 20
F4160
Značky
O
□     g      - ■»
F4160
17 / 20
Navazující přednášky: Vakuová fyzika 2 - F6450
• Vazane plyny
• Sorpční vyvevy
• kryogenní
• zeolitove
• sublimační
• iontovíe
• nevyparovane getry -NEG
• Merení ve vakuove fyzice
• merení proudu plynu
• merení tenze par plynu
• Konstrukční prvky vakuovích zařízení - vhodne materiály, spoje,...
□    &> -
F4160
18 / 20
Praktikum z vakuove fýziký - F7541
[u Graduace ionizačního manometru se žhavenou katodou
^ Merení vodivosti vakuových spoju
3> Kalibrace Piraniho manometru
H> Graduace Peningova manometru
% Čerpací efekt molekuloveho síta
@ Hmotový spektrometr
[7> Merení cerpací rýchlosti metodou konstantního tlaku
© Naparovíní tenkých kovových vrstev a merení cerpací rýchlosti metodou konstantníího objemu
□    &> -
F4160
19 / 20
Zkouška
test 10 otazek + 2 příklady, maximum 20 bodu
A	18 - 20
B	15 - 17
C	12 - 14
D	9 - 11
E	6 - 8
F	0 - 5
F4160        20 / 20