Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav
5. Přehled metod depozice a povrchových úprav
- odstraňování materiálu
- nanášení tenkých vrstev
- modifikace a formování materiálu
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/1431/jaro2011/F4280/odp/Metody_depozice.qref