1. Literatura

2. Úvod do depozice tenkých vrstev a povrchových úprav

3. Aplikace v průmyslu

4. Přehled procesů / 4.1 Vakuové odpařování

4. Přehled procesů / 4.2 Interakce iontů s pevnou látkou

4. Přehled procesů / 4.3 Chemické reakce

4. Přehled procesů / 4.4 Procesy v plazmatu

5. Přehled metod depozice a povrchových úprav

6. Technologie napařování / 6.1 Realizace vakuového napařování

6. Technologie napařování / 6.2 Epitaxe z molekulárních svazků (MBE)

7. Chemické metody depozice z plynné fáze / 7.2 Vysokoteplotní termické formování substrátu v plynné fázi

8. Magnetronové naprašování / 8.1 Úvod - 8.2 Fyzika rozprašování

8. Magnetronové naprašování / 8.3 Vlastnosti rozprášených částic - 8.4 Systémy využívající plazma

9. Praktictká cvičení v laboratoři