Plazmochemická depozice (PECVD) ve vysokofrekvenčním doutnavem výboji s kapacitní vazbou
1   Popis experimentalní aparatury
Pro depozici bude použit válcový reaktor planárního typu, se dvema rovnoběžnými vnitřními elektrodami. Výboj je buzen vysokofrekvenčním generátorem Cesar pracujícím na frekvenci 13.56 MHz nebo 27,12 MHs maximalním vákonem 300 W. Výkon dodavaný do plazmatu je behem depozice meren wattmetrem generátoru. Vysokofrekvencní signal je ze zdroje veden pres prizpusobovací LC clen a oddelovací kondenzator C0. K merení stejnosmerneho predpetí se uzíva voltmetr, který je soucastí prizpusobovacího clenu. Elektricke schema je na obrazku 1. Horní zemnení elektroda ma prumer 10 cm. Po svem obvodu umístený ot-vorý pro dodavaní plýnu. Vzdalenost mezi elektrodami je 5 cm. Spodní rf buzena elektroda o prumeru 9.8 cm je medena a slouzí zaroveň jako nosic substrátu. Reakcní komora je cerpína sýstemem turbomolekularní a rotacní vývevý. Mezní tlak dosazitelný v komore býl rádove 10-4 Pa. Tlak je meren kapacitronem DM 22 firmý Leýbold. Tlak behem depozic se pohýbuje od 5 Pa do 100 Pa. Prutoký uzívaních plýnu jsou rízený elektronickými regulatorý prutoku Bronkhorst a Schaffer. Krome toho je mozne zkontrolovat prutok plýnu z narastu tlaku Ap za ňcas At po uzavrení cerpacího otvoru. Výslední prutok je dan vztahem
Q =
Ap V
(1)
At patm. '
kde V je objem komorý a patm je atmosferický tlak. Jestlize je tlak výjadren v Pa, objem v cm3 a cas v minutích, pak je jednotkou prutoku standardní kubickíý centimetr sccm. Plýný jsou smňeňsovíaný a promíchaívíaný mimo reaktor ve smňeňsovaňci a do reakňcní komorý jsou vedený pňres otvorý horní elektrodý. Celíe experimentaílní uspoňríadíaní je na obríazku 2.
Obrazek 1: Schema zapojení depozicní aparaturý
1
Obrázek 2: Depoziční aparatura
2   Dílčí úlohy laboratorního cvičení:
1. zapnutí čerpacího systému, porozumnení funkči ventilu (čerpání pres odbočku nebo prímo vakuovou linií) - zdokumentovaní experimentalního usporadaní do protokolu k praktiku (textem a fotografiemi)
2. stanovení nulovíe hodnoty kapačitronu - zdokumentovíaní postupu a nale-zeníe hodnoty do protokolu
3. zmerení objemu apartury ze zmeny tlaku pri znamem prutoku
4. stanovení natekíní do aparatury - zdokumentovaní postupu a nalezene hodnoty do protokolu
5. nastavení prutoku argonu a ačetylenu pomočí elektroničkeho prutokomeru - zjistení tlaku v aparature pro nekolik ruznýčh hodnot prutoku (1 az 20 sččm), zdokumentovaní postupu do protokolu zaznamenaní tlaku
6. pripravení 33% smesi ačetylenu v argonu - zdokumentovaní postupu
7. zapalení vf výboje, manualní prizpusobení výboje, testování ruznýčh výkonu (20 az 100 W) - zaznameníní samopredpetí pro ruzne víkony
8. ukončení depoziče, vytazení vzorku
2