Scroll výveva Scroll vývěva • pracuje od atmosférického tlaku • mezní tlak ~ 10° Pa • suchá výveva, bez oleje • varianta zcela bez oleje odélena vlnovcem • využití zejména jako předčerpávací vývěva pro turbomolekulární vývěvy Řazení vývěv do serie Vývevy s neproměnným pracovním prostorem U těchto typů vývěv získávají molekuly plynu dodatečnou složku rychlosti ke svému chaotickému pohybu ve směru čerpání. Předávaný impulz není důsledek stlačení předem odděleného plynu, většina těchto vývěv vyžaduje předčerpání na nižší tlak. Rootsova výveva 102 WKP 1000 A © © ■ UNO 120A io-3 itr2 i0"1 io° 101 io2 io3 p Imbar] Rootsova vývěva • potřebuje předčerpat na tlak asi 102 Pa • mezní tlak ~ 10~3 Pa • počet otáček ~ 1000 min^1 • suchá vývěva, bez oleje • velká čerpací rychlost • mezera mezi rotory ~ 10_1 mm • vícestupňové provedení pracuje i od atmosférického tlaku(mezní tlak 10° Pa) Claw (drapáková) výveva Claw (drapáková) vývěva • pracuje od atmosférického tlaku • mezní tlak ~ 10_1 Pa • suchá výveva, bez oleje • vícestupňové provedení • velká čerpací rychlost • maximální čerpací rychlost při nižším tlaku Molekulární vývěva při vyšších tlacích proudění vlivem viskozity plynu při nižších tlacích je konstantní kompresní poměr b je konstanta závislá na plynu, uje obvodová rychlost Teoretická čerpací rychlost /-délka prac komory, h-šířka prac komory F4160 16 / 36 Obr. 4.30. Gaedeho molekulárni výveva / - stator;2 - rotor; 3 - prepážka; 4 — pracovní mezery 4 (5 ► < -E ► 4 S Obr. 4.32. Siegbahnova disková molekulární vývěva: 1 — spojka; 2 spirálová mezera; 3 — rotující disk Molekulární vývěva • potřebuje předčerpat na tlak asi 10 Pa • mezní tlak ~ 10~4 Pa • počet otáček ~ 10000 min^1 • suchá vývěva, bez oleje • mezera mezi rotorem a tělem vývěvy ~ 10_1 mm Turbomolekulární výveva F4160 20 / 36 F4160 22 / 36 048 Turbomolekulární vývěva • potřebuje předčerpat nejčastěji membránovou, nebo rotační vývěvou • mezní tlak ~ 10~9 Pa • počet otáček 24000 - 90000 min-1 • suchá vývěva, bez oleje • mezera mezi rotorem a statorem ~ 10° mm F4160 23 / 36 Turbomolekulární vývěva Keramická kuličková ložiska Magnetcká ložiska - mohou ovlivňovat citlivá měření Molekulární stupeň - větší výstupní tlak, předčerpání nejčastěji membránovou vývevou, bez molekulárního stupně nutný nižší tlak na výstupu, předčerpání nejčastěji rotační olejovou vývěvou Čerpací rychlost turbomolekulární vývěvy So = —Avsinacosa _ SQG0 _ Av = Sk = df v kde df ~ 0.9, A = ir{R2 - R2b), v = nf{Ra + Rb) F4160 25 / 36 Kompresní poměr pro turbomolekulární vývěvy Kq = exP (—r^—) V Vagtsma ) • t - vzdálenost lopatek • g - korekční faktor, g e < 1, 3 > • v - střední obvodová rychlost lopatek 4 & > 4 = ► « ^ ► O 100 200 300 400 500 v [ms-1] F4160 27 / 36 - He ' iz o —1- ■£ H- Af 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150 Molecular weight M Figure 2.19: Pumping speed as a function of molecular weight 4 (5? ► < ► 4 S '4160 28 / 36 E Helium üV'-'i".1.".".-I1.1. .. —— N 1- itrogen i- Hydroger Inlet pressure Figure 2.20: Pumping speed as a function of inlet pressure 1) Rotor 2) Stator with threads S = -bhvcosa 2 '4160 32 / 36 Doba nutná pro vyčerpání reaktoru pro nízké tlaky (< 10 Ambar) S(P - Po) mater. oprac. qdes[^]{l h)