F3390
Výroba mikro a nanostruktur
RNDr. Jozef Ráheľ, Ph.D.
rahel@mail.muni.cz
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
jasek@physics.muni.cz
Ústav fyzikální elektroniky
Poznámky k prednáške
• Primárne určená pre 2. roč. PřF B-AF NAN, nadväzuje
na F3370 – Úvod do nanotechnológií
• Skúška:
- písomná skúška, krátke odpovede na dopredu zverejnené
otázky
- menej ako 70% správnych odpovedí = pozvánka na ústnu
časť skúšky
• Aktuálne odprednášaná prednáška sa objaví na IS
medzi štúdijnými materiálmi k F 3390
Sylabus – 12 týždňov
• Úvod do mikrofabrikácie (Ráheľ J.)
• Prípravy tenkých vrstiev – depozícia: CVD, plazma, epitaxia, ALD (Ráheľ J.)
• Vytváranie vzorov – patterning: litografia fotónmi, nabitými zväzkami,
rastrovacími sondami, nanotlač (Ráheľ J.)
• Leptanie (Ráheľ J.)
• Metódy samousporiadania - self-assembly (Jašek O.)
• Uhlíkové nanoštruktúry (Jašek O.)
• Nanoprášky - syntéza, vlastnosti a meranie (Jašek O.)
• Nanovlákna a elektrospinning (Ráheľ J.)