Meopta – optika, s.r.o.
Proces vývoje přístroje - Od specifikace po měřící
metodu
MU Brno, Seminář „Fyzika ve firmě“
Mgr. Ing. Libor Úlehla, 26.2.2014
Vývoj produktů
Jak přivést návrh k životu — Od počátečního konceptu k seriové produkci:
Optical
design
Parts
manufacturing,
purchasing
Measurement
methods
development
Software
development
Mechanical
design
Initial
Concept
Testing
Equipment
development
Prototypes
assembly and
testing
• Zakázka pro fi. Applied materials (Izrael)
• Podsestava inspekčního litografického přístroje
• Zákazník od MEOPTY vyžadoval: optický a mechanický design, návrh
měřící metody, montáž a testování finálního produktu
3
RKB Corrector
• Optical Configuration: The RKB AF corrector is the part of AF optical system and
transfer collimated light from AF box to the RKB objective
• Wavelength & Spectral Bandwidth: The lens performance shall be optimized for
the laser light with the following spectral characteristics:
– Peak Wavelength: 473 ± 0.1 nm. The range covers variations between different lasers.
– Spectral Bandwidth: 5 pm (FWHM).
• Angular field of view (FOV): The full angular FOV is 2 deg (circular)
• Wavefront Aberration: The Wavefront Error RMS for AF optics (includes objective)
should not exceed following values:
– 0.06λ @ 473 nm for on-axis point
– 0.08λ @ 473 nm for half field point (0.5 deg)
– Note: the WFE tests will be performed using reference wavefront pupil map of the objective
4
Začátek: specifikace zákazníka
• Design of the module
5
RKB Corrector
• Wavelength & Spectral Bandwidth: jaký bude potřeba typ zdroje?->laserový na
vlnové délce 473nm->jaký druh laseru pořídit?
• Optical Configuration: jak bude potřeba upravit svazek na vstupu a výstupu?
- >kolimovaný vstup->nadefinovat parametry a sestrojit kolimátor
• Angular field of view (FOV): jakým způsobem realizovat vstupní pole pro
mimoosový bod? Mechanicky, opticky?
• Wavefront Aberration: jaký druh detektoru budu potřebovat pro tento typ
parametru?->detektor vlnoplochy->jaké musí splňovat parametry abychom mohli
měřit v daném rozsahu a co nejpřesněji?
6
Rozbor specifikace pro měření
• Wavelength & Spectral Bandwidth: The lens performance shall be optimized for
the laser light with the peak wavelength 473nm :
7
Konstrukce testovací stanice
• Optical Configuration: The RKB AF corrector is the part of AF optical system and
transfer collimated light from AF box to the RKB objective
8
Konstrukce testovací stanice
• Angular field of view (FOV): The full angular FOV is 2 deg (circular)
9
Konstrukce testovací stanice
• Wavefront Aberration: The Wavefront Error RMS for AF optics (includes objective)
10
Konstrukce testovací stanice
• Software musí:
– Sbírat data SH senzoru a provádět jejich matematickou rekonstrukci
– Ovládat rotační posuvy
– Nabídnout uživatelsky přívětivé rozhraní pro obsluhu
• V Meoptě využíváme objektově orientovaný styl programování v
jazycích C++ a Delphi
• Tvorba software zabere podstatnou část času pro konstrukci měřící
stanice
• Celková částka na vývoj měřící stanice se významně promítá do
ceny finálního produktu
11
Tvorba software
12
Finální software
• Testing JIG design
13
RKB Corrector testovací stanice
• May 2013 Received alignment procedure for aspheric lenses collimation of
the KLA upper relay assembly. Received procedure requested collimation to
be done by the interferometer.
14
KLA Upper relay
• 19th of June Meopta received specification
(SP5 DDM CoC r1.xls) which says to align Z4
Zernike polynomial within the range of (-16 ,
16 fringes, i.e. -8 , 8 λ).
• Realised as a modular unit illuminated by the 266nm.
15
Describtion of the fixture
266nm laser +
ND filters +
BE20x +
relevant DOFs
Alignment
pinholes
UUT
Beam reducer M=-3,3x Meopta SHS + 4 DOFs
• Realised as a modular unit illuminated by the 266nm.
16
Realisation
17
KLA upper relay alignment describtion
b) Software screenshot
18
Example – Lavice pro Vectronix
Návrh a realizace měřícího zařízení pro měření sečné optické vzdálenosti (FFL) objektivů v
SWIR oblasti.
19
Example – BF-FM4
Návrh a realizace justážní metody pro lepení zerodur nožek pod přesným úhlem směru
optického svazku zalamovacího zrcadla (spec. Úhlu pod 20arcsec).
Thank you for your attention