F3390
Výroba mikro a nanostruktur
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, Ph.D.
rahel@mail.muni.cz
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
jasek@physics.muni.cz
Ústav fyzikální elektroniky
Poznámky k přednášce
• Primárně určená pro 2. roč. PřF B-AF NAN
– navazuje na F3370 – Úvod do nanotechnológií
– překryv F6540 - Fyzikální principy technologie výroby
polovodičů
• Zkouška:
– Písemná zkouška, krátké odpovědi na předem zveřejněné
otázky, známka podle počtu dosažených bodů, min. 70%
– 10 otázek z každé lekce, náhodně vybráno 20 otázek do testu,
1-2 z každé lekce. Požadováno 15 bodů z 20, hodnoceno po
0,5 bodu.
– ústní zkouška dobrovolná
• Aktuálně odpřednášená přednáška se objeví na IS mezi
studijními materiály k F 3390
Sylabus – 13 týždňov
Ráheľ J.
23.2 Substráty a príprava hrubých vrstiev
1.3 Príprava tenkých vrstiev
8.3 Úvod do fyziky povrchov - čo sa deje pri "lepení" atómov na povrch
15.3 Prenos vzoru (patterning), fotóny, nabité zväzky, sondové metódy
22.3 Leptanie a lepenie
29.3 Vlákna a electrospining
Jašek O.
5.4 Způsoby výroby nanostruktur - samouspořádaní (self-assembly)
12.4 Uhlíkové nanostruktury - fullereny, nanotrubky
19.4 Uhlíkové nanostruktury - nanotrubky, grafén
26.4 Ostatní dvoudimenzionální nanostruktury
3.5 Nanočástice 1
10.5 Nanočástice 2
17.5 Předtermín