F3390
Výroba mikro a nanostruktur
RNDr. Jozef Ráheľ, Ph.D.
rahel@mail.muni.cz
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
jasek@physics.muni.cz
Ústav fyzikální elektroniky
Poznámky k přednášce
• Primárně určená pro 2. roč. PřF B-AF NAN
– navazuje na F3370 - Úvod do nanotechnologií
– případně F6540 - Fyzikální principy technologie výroby
polovodičů
• Zkouška:
- písemná zkouška, krátké odpovědi na předem zveřejněné
otázky, známka podle počtu dosažených bodů, min. 70%
- 10 otázek pro každou lekci, náhodně vybráno 20 otázek do
testu (2 / lekci). Požadováno 15,5 bodů z 22, hodnoceno po
0,5 bodu.
- ústní zkouška dobrovolná
• Aktuálně odpřednášená přednáška se objeví na IS mezi
studijními materiály k F 3390
Sylabus – 13 týdnů
Úvod (dnes)
Ráheľ J.
22.2 Mikroobrábanie, príprava hrubých vrstiev
1.3 Mikroobrábanie, príprava tenkých vrstiev
8.3 Úvod do fyziky povrchov - čo sa deje pri "lepení" atómov na povrch
15.3 Prenos vzoru (patterning), fotóny, nabité zväzky, sondové metódy
22.3 Leptanie a lepenie
29.4 Nanovlákna a electrospining
Jašek O.
5.4 Způsoby výroby nanostruktur - samouspořádaní (self-assembly)
12.4 Uhlíkové nanostruktury - fullereny, nanotrubky
19.4 Uhlíkové nanostruktury - nanotrubky, grafén
26.4 Nanočástice 1
3.5 Nanočástice 2
10.5 ???
17.5 Předtermín