Si02/Si
T   I   I   I   j   I   I   I   I   j   I   I   I   I   j   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   I   j   I   I   I   I j
100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
nm
Si3N4/Si
j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j i i i i j
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
nm
DLC/Si
I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I i i i i I
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
nm
Ti02/Si
I i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i i j i i i i j
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
nm