F3390 Výroba mikro a nanostruktur doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD. rahel@mail.muni.cz Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D. jasek@physics.muni.cz Ústav fyzikální elektroniky Poznámky k přednášce • Primárně určená pro 2. roč. PřF B-AF NAN – navazuje na F3370 - Úvod do nanotechnologií – případně F6540 - Fyzikální principy technologie výroby polovodičů • Zkouška: - písemná zkouška, krátké odpovědi na předem zveřejněné otázky, známka podle počtu dosažených bodů, min. 70% - 10 otázek pro každou lekci, náhodně vybráno 20 otázek do testu (2 / lekci). Požadováno 15,5 bodů z 22, hodnoceno po 0,5 bodu. - ústní zkouška dobrovolná • Aktuálně odpřednášená přednáška se objeví na IS mezi studijními materiály k F 3390 Sylabus – 12 týdnů Ráheľ J. 18.2 Úvod + Mikroobrábění, příprava tlustých vrstev 25.2 Mikroobrábění, příprava tenkých vrstiev 4.3 Úvod do fyziky povrchů - co se děje při "lepení" atomů na povrch 11.3 Přenos vzoru (patterning), fotony, nabité svazky, sondové metody 18.3 Leptání a lepení Jašek O. 25.3 Způsoby výroby nanostruktur - samouspořádaní (self-assembly) 1.4 Uhlíkové nanostruktury – uhlíkové nanotrubky 8.4 Uhlíkové nanostruktury - grafén 15.4 Ostatní nanostruktury – ostatní 2D materiály, diamanty, fullereny 29.4 Nanočástice 2 – Chemické metody přípravy 6.5 Nanočástice 2 – Plazmochemické metody přípravy Ráheľ J. 13.5 Nanovlákna a elektrozvlákňování