F3390
Výroba mikro a nanostruktur
doc. RNDr. Jozef Ráheľ, PhD.
rahel@mail.muni.cz
Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
jasek@physics.muni.cz
Ústav fyzikální elektroniky
Poznámky k přednášce
• Primárně určená pro 2. roč. PřF B-AF NAN
– navazuje na F3370 - Úvod do nanotechnologií
– případně F6540 - Fyzikální principy technologie výroby
polovodičů
• Zkouška:
- písemná zkouška, krátké odpovědi na předem zveřejněné
otázky, známka podle počtu dosažených bodů, min. 70%
- cca 10 otázek pro každou lekci, náhodně vybráno 22 otázek
do testu (2 / lekci). Požadováno 15,5 bodů z 22, hodnoceno
po 0,5 bodu.
- ústní zkouška dobrovolná
• Aktuálně odpřednášená přednáška se objeví na IS mezi
studijními materiály k F3390
Sylabus – 13 týdnů
Ráheľ J.
20.2 Úvod + Mikroobrábění, příprava tlustých vrstev
27.2 Mikroobrábění, příprava tenkých vrstev
5.3 Úvod do fyziky povrchů - co se děje při "lepení" atomů na povrch
12.3 Přenos vzoru (patterning), fotony, nabité svazky, sondové metody
19.3 Leptání a lepení
26.3 Nanovlákna a elektrozvlákňování
Jašek O.
2.4 Způsoby výroby nanostruktur - samouspořádaní (self-assembly)
9.4 Uhlíkové nanostruktury – uhlíkové nanotrubky
16.4 Uhlíkové nanostruktury - grafén
23.4 Ostatní nanostruktury – ostatní 2D materiály, diamanty, fullereny
30.4 Nanočástice 2 – Chemické metody přípravy
7.5 Nanočástice 2 – Plazmochemické metody přípravy
14. 5 Předtermín