Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav
3. Evaporation / Napařování
Presentation slides (course notes) for this chapter (in English):
One of the most used methods for the monitoring of the deposition process during evaporation is quartz crystal microbalance (QCM) measurements of mass deposition rate:
Recommended text for reading (in English):
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/67960598/Smith-cha4_evaporation.pdf
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/67960598/Smith-cha8_energ-beam.pdf
On-line questionnaire (ROPOT) that is mandatory to pass successfully (in English):
otazky-ke-zjisteni-znalostiF4280_kap3-naparovani.pdf