Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav
7. Plazmochemické procesy
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part07-1_introduction-to-plasma.pdf
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part07-2-plasma-kinetics_elementary-processes.pdf
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part07-3-1_plasma-sources_lowp.pdf
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part07-3-2_atm-pressure-DBD.pdf
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part07-4_07-5_PECVD_plasma-treatment.pdf
Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part07-5-4_plasma-polymers.pdf