Technologie depozice tenkých vrstev a povrchových úprav

4. Principles of thin film deposition / Teoretické základy depozice tenkých vrstev


Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/talk-F4280-part04-deposition.pdf



D. Smith - chapter 5:

Chyba: Odkazovaný objekt neexistuje nebo nemáte právo jej číst.
https://is.muni.cz/el/sci/jaro2020/F4280/um/67960598/Smith-cha5_deposition_gray-scale.pdf

G. F. Froment, K. B. Bischoff, Chemical reactor analysis and design, Wiley 1990 (part of chapter 1, Elements of reaction kinetics):