Jak by měl vypadat protokol
Tento dokument navazuje na dokument popisující obecně strukturu protokolu (soubor j ak-ma-vypadat-protokol-obecne.pdf) je zde popsána očekávaná struktura protokolu popisující PECVD (součást dvou praktik předmětu F4280 Technologie depozice).
Protokol musí obsahovat tyto kapitoly:
1. Úvod
2. Popis experimentu
3. Výsledky měření a jejich diskuze
4. Závěr
Kapitola 1. Úvod se dělí na
• Cíl praktické úlohy
• Teoretický úvod do problematiky, např. PECVD a CCP (popište princip metody; jaké procesy v el. výboji probíhají; příklady výbojů, které je možné pro PECVD použít a podrobněji vysvětlete princip radiofrekvenčního výboje s kapacitní vazbou včetně vzniku stejnosměrného samopředpětí; výhody a nevýhody z hlediska CVD)
nebo informace o tvrdých uhlíkových amorfních vrstách (Vysvětlete strukturu a vlastnosti uhlíkových amorfních materiálů: tvrdá a-C neboli DLC, ta-C, tvrdá a-C:H neboli DLCH, ta-C:H. Uveďte aplikace těchto materiálů a metody přípravy, zaměřte se pak na PECVD)
Kapitola 2. Popis experimentu se dělí na
• 2.1 Popis aparatury - nerezová nádoba, její elektrody, generátor, přizpůsobovací člen
• 2.2 Vakuový systém a plynové hospodářství - čerpací systém, měření tlaku, napouštění plynů
• 2.3 Postup při experimentu - např. jaké substráty, nulová hodnota kapacitronu, podmínky čištění, podmínky depozice
Kapitola 3.   Výsledky měření a jejich diskuze se dělí podle provedených měření (např.   stanovení objemu aparatury, stanovení míry netěsnosti, vztah mezi průtokem plynu a tlakem, závislost stejnosměrného samopředpětí na výkonu, podmínky depozice a její výsledek).