Vakuové ventily
Dělení podle různých principů
Podle funkčnosti
* oddělovací
* napouštěcí
* zavzdušňovací
* omezení čerpací rychlosti
Ovladání
* ruční
* pneumatický
* elektromagnetický
Oblast použití
* hrubé vakuum
* HV vakuumm
* UHV, XHV vakuum
ˇ deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než  30mbar
* ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů
* jehlové ventily - nedotahovat silou
* zábrusové ventily - dobře namazat
Elektrické průchodky
Vakuum v rozsahu tlaků 1-5000 Pa je velmi špatný elektrický
izolant.
Průchodky vybíráme podle:
* podle napětí
* podle proudu
Přenos rotace do vakua
Ohebné spoje
- připojení primárních vývěv
* kovové vlnovce
* bellows - změna délky při změně tlaku
* flexible metal hose
* tlustostěnné hadice
* hadice s kovovou spirálou