Materiály pro vakuové aparatury
* nízká tenze par
* malá desorpce plynu
* tepelná odolnost (odplyňování)
* mechanické vlastnosti
* způsoby opracování a spojování
* elektrické a chemické vlastnosti
Sklo
* nízká tenze par
* malá desorpce plynu
* křehké
* elektrický izolant
* chemicky odolné
* svařovaní a tvarování za tepla
* vznik pnutí - temperování
ˇ sklotvorné složky SiO2 , B2O3 , P2O5
* Na2O , CaO - snižuje tavící teplotu
* Al2O3 , ZnO2 - zvyšuje chemickou netečnost
* K2O
* BaO
* PbO
* MgO
Skla Corning
Použití:
* osvětlovací technika
* manometry
* elektrické průchodky
* obrazovky
* okénka do reaktorů
* elektronky
* speciální kalibrační lampy
* ...
Keramika
* nízká tenze par
* malá desorpce plynu
* velká pevnost
* elektrický izolant
* chemická odolnost
* velká tepelná odolnost (vyšší teplota pro odplynění)
* žádné pnutí
* změna rozměrů při výrobě
Složení:
* Al2O3 - max teplota ve vakuu 1800 C
* MgO - max teplota ve vakuu 1600 C
* ZrO2 - max teplota ve vakuu 1700 C
* BeO - max teplota ve vakuu 2000 C
* ThO2 - max teplota ve vakuu >2300 C
Použití
* elektrické průchodky
* elektrické izolátory
* topné systémy
* kalíšky pro depozici tenkých vrstev -Al2O3 - Al, Bi, Ge, In, Ni
* ...