Měření proudu plynu
I = pS
* měření malých proudů plynu v vakuové technice
* průtokoměry
Výběr průtokoměru:
* přesnost
* reprodukovatelnost
* měřící rozsah
(S.Ďaďo, L.Bejček, A. Platil: Měření průtoku a výšky hladiny,
Ben,Praha 2005)
Měření malých proudů plynu v vakuové technice
* plynová byreta
* měření pomocí kapky Hg
* měření pomocí vodivosti
* měření na základě silového působení
* dynamická expanze
Plynová byreta
Měření pomocí vodivosti
I = G(p1 - p2)
I = G(p1 - p2)
t
t
t - celkový čas, t - doba otevření ventilu.
Tlak v pomocném vakuovém systému:  1 - 2.10-7 torr.
Měření na základě silového působení
F = (p1 - p2)r2
2 =

8
nm(va + u)2
-

8
nm(va - u)2
r2
2
F =

8
nm4vaur2
2 = p
4u
va
r2
2 = pu
2m
kT
r2
2
u =
I
r2
1p
F =
2m
kT
r2
r1
2
I
Dynamická expanze
Etalon na principu dynamické expanze
rozsah 1.10-1 - 10-6Pa chyba měření 0.6% - 2%
pref = I
1
S
+
1
G
I = p
V1 - V2
t1 - t2
Průtokoměry
* plováčkové průtokoměry
* turbínové průtokoměry
* ultrazvukové průtokoměry
* průtokoměry založené na Coriolisově sile
* průtokoměry založené na tlakové diferenci
* průtokoměry tepelné
Re =
uD

Plováčkové průtokoměry
A
v2
1
2
+ p1 + Vg = Ap2 + Vg 2
qV = CdA2
2gV
A
2
- 1 = f (A2)
A2 - plocha mezi plovákem a trubicí, 2 - hustota plováku, Cd koeficient
ztrát - pro turbulentní proudění přibližně konstantní
Turbínové průtokoměry
Ultrazvukové průtokoměry
Změna rychlosti nebo frekvence ultrazvukového vlnění průchodem
kapalinou.
frekvence 500 kHz - 1MHz
spíše se používají pro měření kapalin, i kryokapalin (tekuty argon,
dusík, helium)
Průtokoměry založené na Coriolisově sile
amplituda kmitů 0.8 mm, rezonanční kmitočet 100-250 Hz
amplituda kmitů 0.1m, rezonanční kmitočet 500-700 Hz
max. průtok 5 ml.h-1, frekvence kmitů 8 kHz, vstupní otvor
0.5 mm
Průtokoměry založené na tlakové diferenci
qV = f(

p)
laminární proudění, qV = f(p)
Termoanemometr
konstantní rozdíl teplot
Kalorimetrický hmotnostní průtokoměr
průtok 2 - 500 ml.h-1, přesnost měření 2%,
příkon vyhřívání 5-50 mW, reakční doba < 2 ms