Zeolitové vývěvy * zeolity, molekulová síta - přírodní, umělé (až 1000 m2/g) * mikroporézní sklo * aktivní uhlí (400 - 1500 m2/g) typické chlazení pomocí LN2 Přírodní zeolit CaNa2Al2Si4O12.6H2O Závislost rovnovážného tlaku na množství adsorbovaného plynu, zeolit 5A při teplotě 77 K ˇ dominantní proces je fyzisorbce * dobře čerpá H2O, N2, O2, uhlovodíky * špatně čerpá Ne, He, H2, ... * velký povrch, 1g 1000m2, pracuje od 105Pa * dutiny a kanálky 1nm * dá se regenerovat při vysoké teplotě * zvětšení účinnosti snížením teploty zeolitu (tekutý dusík 77 K) * žádné vibrace Sublimační vývěvy Princip - opakované vytváření povrchu čistého kovu (napařování, naprašování,...), nejčastěji se používá Ti. Teoreticky mohou pracovat od atmosférického tlaku, prakticky asi od 10-4Pa. ˇ dominantní proces je chemisorbce * dobře čerpá H2, H2O, N2, CO, CO2, O2 * nečerpá inertní plyny např. Ne, Ar, ... * opakované vytváření čistého povrchu kovu, pracuje od 10-4Pa * získávání vysokého a extrémně vysokého vakua * zvětšení účinnosti snížením teploty pohlcujícího povrchu Iontové vývěvy Iontově sublimační vývěvy ionizace plynu - čerpá i inertní plyny, rozprašování Ti