Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle funkčnosti
•  oddělovací
•  napouštěcí
•  zavzdušňovací
•  omezení čerpací rychlosti Ovládání
•  ruční
•  pneumatický
•  elektromagnetický Oblast použití
•  hrubé vakuum
•  HV vakuum
•  UHV, XHV vakuum
. j 28
Obr. 6.27. Ventil s talířkem přitlačovaným
šroubem
1 — rukojeť; 2 — těsnění; 3 — těsnicí
kroužek; 4 — horní příruba; 5 — talířek;
6 — dolní příruba; 7 — těsnění talířku
Obr. 6.28. Ventil těsněný vlnovcem
□       s
/ 28
Obr. 6.32. Ventil pro nízké vakuum
s membránovým těsněním (firma Leybold)
™=ö=
Obr. 6.33. Řez ventilu s kuželovým čepem a membránovým těsněním pro ultravysoke vakuum
□         S1
F6450          3/28
□         S1
4/28
(a)
(b)
(c)
(e)
(f)
<g>        (h)
<j>
■O Q, O-
w
ŕ
1       A
□         S1
i / 28
O <    A-B
7/28
Fig. 7.61 Diaphragm valve.
(a)
(b)
(c)
F6450          8/28
(d)
(e)
0.re\       1
^CT
Ntf
(o)
□         S1
9/28
Ems^
SSSS3
□        s1
F6450          10 / 28
TO     VESSEL
TO    DIFFUSION     PUMP
Fig. 2.29. Poppet valve.
□               t5?
F6450          11 / 28
Fig. 2.28. Angle  valves, stock, (b) Cast.
r				^	
\   -^^					
			s ■*		
			1		
				fe	
	"•.yfe??.				
	.   LifHťfffr				
	\         —■ *"         N                  M      ■(>>>				
					«"i
(b) (a) Machined   from   bar
□       s
F6450          12 / 28
c«AmiM.               Knife   manifold
Stainless               edae
steel  Copper       \9 \     disc
Driving shaft
Fig. 7.65 Ultra-high vacuum valve.   After Baker (1962).
Monel
i
Al
(b)
Chip   formation        (C;
Fig. 7.63 Closing systems of all-metal valves;   (a) with flat silver ring (Bills and Allen, 1955); (b)   with  aluminum conical ring (Kienel and Lorenz, 1960); (c) with copper poppet (Parker
and Mark, 1961).
□       s
F6450          14 / 28
IH(cm3(NTP)	i')									
										
OÚ										
										
40										
20										
										
0										
6         8        10
□        s
F6450          15 / 28
Fig. 2.31. Needle valve.
□         S1
F6450          16 / 28
•  deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 mbar
•  ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů
•  jehlové ventily - nedotahovat silou
•  zábrusové ventily - dobře namazat
F6450          17 / 28
Elektrické průchodky
Vakuum v rozsahu tlaků 1-5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky vybíráme podle:
•  napětí
•  proudu
•  frekvence
F6450          18 / 28
Obr. 6.47. Elektrické průchodky pro slabé proudy
a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) průtav skleněnou
perličkou zatavenou do otvoru v kovové stěně
F6450          19 / 28
/
Obr. 6.48. Silnoproudá průchodka skleněnou trubici
/ — průtav;2 — sklo; 3 — kovářova čepička; 4 — pájka
Obr. 6.49. Silnoproudá průchodka kovovou
stěnou s keramickým izolátorem
1 — přívod; 2 - spoj kovu s keramikou;
3 — keramika; 4 — stěna vakuového
systému
□       g
■OQ.O
9
Maximum current,     A
Přenos rotace do vakua
□        o1
F6450          22 / 28
23 / 28
□         S1
F6450          24 / 28
ATMOSPHERE
□          S
F6450          25 / 28
VACUUM
ATMOSPHERE            I     O    1
□       s>       -
F6450          26 / 28
STOP   COLLAR
SHAFT
WELDED   (OR   BR AZED) CLOSU RES
GUIDE    BUSHING
STOP   COLLAR
ATMOSPHERE
□            [51
F6450          27 / 28
Ohebné spoje
- připojení primárních vývěv
•  kovové vlnovce
bellows - změna délky při změně tlaku • flexible metal hose
tlustostěnné hadice
•  hadice s kovovou spirálou
F6450          28 / 28