Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle fůnkCnosti
• oddělovací
• napoůstěcí
• zavzdůšňovací
• omezení cerpací rýchlosti Ovladaní
• růcní
• pneůmatickýí
• elektromagnetický Oblast poůzití
• hrůbe vakůům
• HV vakůům
• UHV, XHV vakůům
F6450        1 / 28
Obr. 6.27. Ventil s talířkem přitlačovaným šroubem
1 — rukojeť; 2 — těsnění; 3 — těsnicí kroužek; 4 — horní příruba; 5 — talířek; 6 — dolní příruba; 7 — těsnění talířku
0
Obr. 6.28. Ventil těsněný vlnovcem
F6450 2/28
F6450 5/28
F6450       8 / 28
(f) (g) (h)
F6450 9/28
□       &l -
F6450
10 I 28
□ SP
11 I 28
F6450
13 / 28
• deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 mbar
• ventily s kovovým tesnením - omezeny pocet cyklů
• jehlove ventily - nedotahovat siloů
• žabrůsove ventily - dobře namazat
F6450 17 / 28
Elektrické průchodky
Vakůům v rozsahů tlaků 1-5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky výbírame podle:
• napetí
• proůdů
• frekvence
□    &> -
F6450
18 / 28
Obr. 6.47. Elektrické průchodky pro slabé proudy
a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) průtav skleněnou perličkou zatavenou do otvoru v kovové sténě
0
□     s -
F6450        19 / 28
20 / 28
F6450
9
Prenos rotace
do vakua
(b)
F6450
22 / 28
□       s -
F6450        24 / 28
F6450        25 / 28
Ohebné spoje
- připojení primárních vývěv
• kovově vlnovce
• bellows - změná dělký při změně tláku
• flěxiblě mětál hosě
• tlustostěnně hádicě
• hádicě s kovovou spirálou
F6450        28 / 28