Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle funkčnosti
• oddělovací
• napouštěcí
• zavzdušňovací
• omezení čerpací rychlosti Ovládání
• ruční
• pneumatický
• elektromagnetický Oblast použití
• hrubé vakuum
• HV vakuum
• UHV, XHV vakuum
Obr. 6.27. Ventil s talířkem přitlačovaným Obr. 6.28. Ventil těsniny vlnovcem
šroubem
1 — rukojeť; 2 — těsnění; 3 — těsnicí kroužek; 4 — horní příruba; J - talířek; 6 - dolní příruba; 7 - těsnění talířku
1J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984 < i ►   i ono
F6450        2 / 32
Obr. 6.32. Ventil pro nízké vakuum
s membránovým těsněním (firma Leybold)
Obr. 6.33. Řez ventilu s kuželovým čepem a membránovým těsněním pro ultravysoké vakuum
2J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984
3J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1984 < i ►   i ono
F6450       4 / 32
4_
4A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
5J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981
6___
6A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
(e)
A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
Kulový ventil
Sedlový ventil
TO VESSEL
ROUGHING OUTLET
TO   DIFFUSION PUMP
Fig. 2.29. Poppet valve.
9_
9A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 < i ►   i ono
F6450        13 / 32
Monel
At
(b)
Poppat^M 50 closures
Chip formation (C)
Fig. 7.63 Closing systems of all-metal valves; (a) with flat silver ring (Bills and Allen, 1955); (b) with aluminum conical ring (Kienel and Lorenz, 1960); (c) with copper poppet (Parker
and Mark, 1961).
10
A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
F6450        14 / 32
Jehlový ventil
Jehlový ventil
Fig. 2.31. Needle valve.
Deskový ventil
F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003)
• deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 mbar
• ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů
• jehlové ventily - nedotahovat silou
• zábrusové ventily - dobře namazat
Elektrické průchodky
Vakuum v rozsahu tlaků 1-5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky vybíráme podle:
• napětí
• proudu
• frekvence
F6450        19 / 32
Obr. 6.47. Elektrické průchodky pro slabé proudy
a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) průtav skleněnou perličkou zatavenou do otvoru v kovové stěně
13
J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 < i ►   i ono
F6450        20 / 32
Obr. 6.48. Silnoproudá průchodka skleněnou trubici
1 — průtav;2 — sklo; 3 — kovářova čepička; 4 — pájka
Obr. 6.49. Silnoproudá průchodka kovovou
stenou s keramickým izolátorem
1 — přívod; 2 — spoj kovu s keramikou;
3 — keramika; 4 — stěna vakuového
systému
14
J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981
9
15_
15A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
9
Přenos rotace do vakua
Load lock
F6450        30 / 32
Ohebné spoje
připojení primárních vývěv
• kovové vlnovce
• bellows - změna délky při změně tlaku
• flexible metal hose
• tlustostěnné hadice
• hadice s kovovou spirálou
Další prvky
• tlakové spínače
• 2D a 3D posuvy
• ohřev a rotace vzorků
• systémy pro povlaková ní
• plazmové okénko