Čerpací systémy
• 1. Měření vodivosti vakuových spojů - rotační olejová výveva
- Lavat, VRO-05-21, 5 m3^1
• 2. Kalibrace manometru - membránová + turbomolekulární výveva
- Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
• 3. Graduace Penningova manometru - membránová + turbomolekulární výveva - Pfeiffer, TSH 071 E, 60 l/s pro N2
4. Měření parciálích tlaků plynů - membránová + turbomolekulární výveva - Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
• 5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku - rotační olejová výveva - Balzers, DUO 5.6, 5 m3h_1 při 133 Pa
Praktikum z vakuové fyziky
• 6. Naparování tenkých kovových vrstev - scroll + turbomolekulární vývěva - Oerlikon, Scrollvac SC30D; Pfeiffer- HiPace 700, 685 l/s
• 7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou -
membránová + turbomolekulární vývěva
- Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
• 8. Čerpací efekt molekulového síta - zeolitová a rotační olejová vývěva - Lávat, VRO-05-21, 5 m3^1
• 9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy -
membránová + turbomolekulární vývěva
- Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
• 10. Seznámení s iontovou vývěvou - iontová vývěva, GammaVacuum TiTanl0S-CV, 10 l/s pro N2
Praktikum z vakuové fyziky
2/7
Rotační olejové vývevy
• vyztužená hadice pro pripojení
• pořadí fází - směr rotace
• zahřátí na pracovní teplotu
• zavzdušnění po vypnutí
Praktikum z vakuové fyziky
Turbomolekularní vyvěvy
• DCU400 => TC 400 => HiPace700, čerpací rychlost 685 l/s pro N2
• DCU => TC600 => TMH 071P, čerpací rychlost 60 l/s pro N2
• DCU =>- TC110 =>- HiPace80, čerpací rychlost 67 l/s pro N2
Praktikum z vakuové fyziky
4/7
HiCube 80 Eco
• DCU =>- TC110 - elektronika, sběrnice RS485
• HiPace80 - 67 l/s pro N2, příruba ISO-K 63/CF 63
• membránová vývěva - MVP 015-2, čerpací rychlost 0.5 m3/h
• údržba - výměna olejové patrony
Praktikum z vakuové fyziky
Ovládací jednotka DCU + TC110
• LCD display a membránová klávesnice
• sběrnice RS485
• možnost pripojení aktivního manometru
• řada nastavitelných parametrů
• 002 - Sta n by
• 023 - MotorPump
• 308 - SetRotSpd - maximální frekvence otáček
• 309 - ActualSpd - aktuální otáčky 310 - DrvCurrent
• 315 - NominaISpd - maximální otáčky vývěvy
• 326, 330, 342, 346 - teploty
• 340 - Pressure - měření tlaku
• 700 - RvTimeSval - startovací čas
• 717 - StdySval - nastavení rychlosti pro Stanby
• 738 - Gaugetype
Praktikum z vakuové fyziky
Sběrnice
• RS232 - 1962; max. délka kabelu až 300 m
• RS485 - 1983; max. délka kabelu až 1200 m
• USB - 1995; max. délka kabelu 5 m
• Ethernet - 1972; dnes konektor RJ45 - kroucená dvoulinka, max. délka 100 m
• I2C
• Profibus
• DeviceNet
• bezdrátové připojení - WiFi, Bluetooth, rf,...
•
Praktikum z vakuové fyziky
7/7