Manometry
• aktivní - 0-10 V výstupní signál
• digitální, sběrnice - RS-485, Profibus, DeviceNet,...
• pasivní - elektronika připojená kabelem, odolné vůči radiaci
Praktikum z vakuové fyziky
1/8
Manometry
• 1. Měření vodivosti vakuových spojů - kapacitní 10 hPa + piezo měrka + diferenciální
• 2. Kalibrace manometru - kapacitní 1100 hPa, 1.1 hPa + ionizační - studená katoda full range + Pirani
• 3. Graduace Penningova manometru - ionizační - studená katoda full range
• 4. Měření parciálích tlaků plynů - žhavená katoda full range
• 5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku -
kapacitní měrka
Praktikum z vakuové fyziky
2/8
• 6. Naparování tenkých kovových vrstev - studená katoda full range
• 7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou -
žhavená katoda full range
• 8. Čerpací efekt molekulového síta - Pirani + piezo měrka
• 9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy - žhavená katoda full range
• 10. Seznámení s iontovou vývěvou - žhavená katoda full range
Praktikum z vakuové fyziky
3/8
Typy manometrů
• ionizační - studená katoda full range - PKR 251, úlohy 2, 3, 6
• Tesla VC 2T, úloha 3
• ionizační - žhavená katoda full range - PBR 260, úlohy 4, 7, 9, 10
• Leybold IM 4, úloha 7
• kapacitní - řada CMR, úlohy 1, 2; Ceravac CTR, úloha 5
• Pirani - Balzers TPR 010 ,úloha 2; TPR 280, úloha 8
• piezo měrky - PV 20/DI2000, úloha 8; APR 250, úloha 1
• diferenciální GDH 200-07, úloha 1
Praktikum z vakuové fyziky
4/8
Přesnost manometrů
• studená katoda full range - PKR 251 - 30% pro p < 100 mbar
• žhavená katoda full range - PBR 260 - 15% pro p < 10~2 mbar
• Pirani - TPR 280 - 15% pro p < 100 mbar
• řada CM R - 0.2%
• CTR - 0.2%
• APR 250 - 2%
• PV 20/DI2000 - 0.2 % F.S.
• GDH 200-07 1%
Praktikum z vakuové fyziky
5/8
Ovládací jednotka TPG 261
• možnost připojení aktivního manometru
• typ manometru a rozsah
• jednotky pro tlak - Pa, mbar, Torr
• 2 x relé
• analogový výstup 0-10 V
• nastavení ofsetu
• nastavení kalibračních konstant
• rychlost měření 50 /s
• rychlost zobrazení 10/s
• možnost filtrů pro potlačení šumu
• funkce degas pro ionizační měrky se žhavenou katodou
• možnost řízení po sběrnici RS 232
Praktikum z vakuové fyziky 6/8
TPG 261
SAB C161PI - 16 bit mikrokontroler PSD 833F2 - Flash paměť - 1 Mbit ADS 1213U - 22 bit A/D převodník
AVPM 1
• dvoukanálový voltmetr
• 0-10 V
• 22 bit A/D převodník
• možnost definovat převodní funkce pro jednotlivé kanály
• rozhraní USB a Ethernet
Praktikum z vakuové fyziky
8/8