IGCIOO - ovládací elektronika pro manometry
• SRS - Stanford Research Systems, Inc.
• pro Bayard-Alpert ionizační manometry
• nastavení citlivosti
• jemné nastavení emisního proudu elektronu
• možnost připojit Pirani měrku
• analogový výstup, degas režim
• vstupní a výstupní kanály pro řízení procesu
• dotykový display
• RS 232
Praktikum z vakuové fyziky
1/6
OMEGA FMA-A2402 - průtokoměr
• Omega Engineering
• 50 sccm, Ar
• termoelektrický princip
• regulační ventil
• přesnost 1% pro kalibrační plyn
• analogový vstup a výstup
Praktikum z vakuové fyziky
2/6
Praktikum z vakuové fyziky
3/6
PS325 - vysokonapěťový zdroj
• SRS - Stanford Research Systems, Inc.
• 2500 V, max 10 m A, 25 W
• nastavení polarity
• analogový výstup 0-10 V
• analogový vstup 0-10 V
• zobrazení napětí a proudu
• ochrana při přetížení
Praktikum z vakuové fyziky
4/6
Napařovačka B30
• Hochvakuum Dresden, NDR
• modernizace - scroll + turbomolekulární vývěva
• dva držáky pro lodičky a spirály
• zdroj proudu 200-250 A
• nový zdroj proudu VS400A - az 400 A
• modernizace elektronové dělo
• měření tloušťky vrstvy pomocí krystalu
Praktikum z vakuové fyziky
OM 402UNI - univerzální panelové měřidlo
• Orbit Merret, spol. s r.o.
• svorkovnice pro připojení vstupů a výstupů
• napětí až 40 V, DC
• proud až 20 mA, DC
• odpor 100 kft
• měření teploty Pt 50, Pt 100, Pt 500, Pt 1000
• měření teploty - termočlánky J, K, T, E, B, S, R, N, L
• přepočet hodnot, relé
• RS 232, RS 485, ovládací software
Praktikum z vakuové fyziky
6/6