Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle funkčnosti
• oddělovací
• napouštěcí
• zavzdušňovací
• omezení čerpací rychlosti Ovládání
• ruční
• pneumatický
• elektromagnetický Oblast použití
• hrubé vakuum
• HV vakuum
• UHV, XHV vakuum
Praktikum z vakuové fyziky 1/15
1_
1A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 < i ►   i -OQ.O
2/15
Praktikum z vakuové fyziky
Kulový ventil
2_
2A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
Praktikum z vakuové fyziky
3/15
Jehlový ventil
Praktikum z vakuové fyziky
4/15
Deskový ventil
I
i
. awvwwwvvwvwwv;. • _
^\v/////s///////j i:
4
"F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003)
EVN-116
5
5firemní mat. Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
6/15
EVR-116
Gasflow Imbar l/sl
A
0123456789 10
EVR 116, Gas regulating valve
firemní mat. Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
4 □ ►   4 fi? ► 4
UDV-046
dm 40 cf-f/    h 5
UDV 046, All-metal gas dosing valve 7 min. 1 x lQ-ghPal/s
7firemni mat. Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
• deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 mbar
• ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů
• jehlové ventily - nedotahovat silou
• zábrusové ventily - dobře namazat
Praktikum z vakuové fyziky
9/15
Rozebíratelné spoje
• zábrusy - zejména skleněné aparatury
• ISO-KF , (NW)
• ISO-K, ISO-F
• CF
4 □ ►   4 fi? ► 4
Praktikum z vakuové fyziky
ISO-KF
8_
8firemní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
11 / 15
ISO-K,
ISO-F
firemní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
12 / 15
OFHCCopper Gasket
n_
nfiremní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
14 / 15
Sealants
	Temperature range	Reusable
Elastomer		
Neoprene (CR)	-40to100°C	yes
Viton(FPM)	-15 to 150 °C	yes
Metals		
Indium	-196 to 60 °C	yes
Aluminum	-196 to 200 °C	no
Copper	-196 to 200 °C	no
Copper, silver-plated	-270 to 450 °C	no
12
firemní materiály firmy Pfeiffer