F7541 Praktikum z vakuové fyziky
1. Měření vodivosti vakuových spojů
(a) Spočítejte teoretické hodnoty vodivosti daného spoje za předpokladu molekulárního, respektive laminárního proudění plynu.
(b) Určete Reynoldsovo a Knudsenovo číslo.
(c) Naměřte vodivost spoje G pro různé rozdíly tlaků a porovnejte ji s teoretickým výpočtem.
2. Kalibrace Piraniho manometru
(a) Nakalibrujte Piraniho manometr pro dvě různé teploty a dva různé plyny.
3. Graduace Peningova manometru
(a) Změřte závislost výbojového proudu Peningova manometru na napětí.
(b) Změřte závislost výbojového proudu Peningova manometru na proudu cívkou magnetu.
(c) Změřte kalibrační křivku Peningova manometru.
4. Hmotový spektrometr
(a) Seznamte se s obsluhou a funkcí hmotového spektrometru
(b) Zjistěte složení plynů ve vakuové aparatuře při různých tlacích tlaku
5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku
(a) Změřte čerpací rychlost rotační olejové vývěvy metodou konstantního tlaku
(b) Změřte objem vakuové aparatury
6. Naparování tenkých kovových vrstev
(a) Seznamte se s principem vakuové napařovačky
(b) Změřte čerpací rychlost vývěvy metodou konstantního objemu
7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou
(a) Změřte závislost kolektorového proudu na emisním proudu pří konstantním tlaku pro různé tlaky.
(b) Změřte závislost kolektorového proudu na tlaku pro různé emisní proudy.
8. Čerpací efekt molekulového síta
(a) Změřte objem aparatury.
(b) Zregenerujte molekulové síto.
(c) Sledujte tlak v čerpaném objemu v závislosti na teplotě a čase.
9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy
(a) Spočítejte vakuovou vodivost přepážky s otvorem.
(b) Změřte čerpací rychlost turbomolekulární vývěvy metodou konstantního tlaku. 10. Seznámení s iontovou vývěvou
(a) Seznamte se s principem iontové vývěvy.
(b) Změřte vybrané parametry iontové vývěvy.