Aplikácie javov na katóde tlecieho výboja
- katódové rozprašovanie
Glow Glow1

n



                 Magnetrón






nTerčíky:



Plazmová nitridácia:
0dNitridGlow


Plazmová nitridácia:



n



Plazmová implantácia
Plasma Immersed Ion Implantation
nThe plasma immersion ion implantation process is of potentially great significance for the
modification of surfaces, since in principle it permits the implantation of ions into a surface
without the usual line-of-sight restrictions of ion-beam techniques.

piii2_e



A large vacuum chamber (1m diameter & 2m length) with plasma produced  by the impact ionization of
neutrals by thermionic electrons.
A magnetic cusp to enhance plasma density.
A 50 kv  DC supply with a hard tube modulator
Plasma Source Ion Implantation Reactor

Tyratrón - spínacia plynom plnená elektrónka na báze t.v. na spínanie VN



Tlecí výboj s dutou katodou:



Zdroje plazmy pre výrobu mikročipov



Iónové reaktívne motory