Kovy ve vakuové technice ocel AI a AI slitiny Cu a Cu slitiny Ti Kovar Hg Spojování Vakuová fyzika 2 «0 q, o 1 / 40 cm*(NTP) SO 40 30 20 10 i 7 í i 1 » 500 1000 1500 2000 Í(°C) Obr. 6.i. Závislost množství vodíku (v cm3 při normálním tlaku) rozpuštěného v 100 g kovu na teplotě (podle Waldschmidta a kol, 1954) 1J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 2/40 Tab. 6.1. Hlavní charakteristiky materiálů týkající se odplyňování Materiál Odplyňování Poznámka ve vakuu ve vodíku teplota (°c) doba 00 teplota pq doba (min) wolfram ~1800 8-10 1 100-1400 2-5 wolframové katody se (dráty, tyče) neodplyňují v peci molybden 900- 950 1000-1200 30 tantal 1000-1 500 není dovoleno ve vodíku křehne platina 900-1000 950 5-10 ve vzduchu 600 - 800 nikl a jeho 700- 950 >0,5 950-1050 teplota závisí slitiny bez na tvaru materiálu obsahu mědi železo a jeho 900-1000 >1 ve vysoce čistém vodíku slitiny bez 800-1000 >2 obsahu mědi, nerezavějící ocel měď a její slitiny 500- 550 nedoporučuje se slitiny zinku a cínu (např. bez obsahu zinku mosaz) se v peci a cínu neodplyňují grafit a grar závisí na druhu není dovoleno ve vodíkové atmosféře fitované kovy kovu; se tvoří uhlovodíky čistý grafit při ■ 1200-1800 wolfram a nikl 950 15 s povlakem kys- ličníku chrómu 2_ 2J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 3/40 /cws 10' 10 -6 10 ~7 \ \ V V. \ \v V \ \ N \ \ \\ v vs \\\ oj 10 100 řítí Obr. 6.2. Proud uvolňovaného plynu z jednotky povrchu kovu a skla (lx dev) v závislosti na době během níž byl materiál vložen do vakua (podle R. Henryho, 1969). Nerezavějící ocel X18H10 při 670 K (plné křivky): 1 — neopracovaná, mořená: 2 — mechanicky leštěná, mořená: 3 — elektrolyticky leštěná po dobu 15 min. Lehká hliníková slitina (s obsahem Mg, Mo a Cr) při 300 K (čárkované křivky); 4 — neopracovaná; 5 — neopracovaná, mořená. Borokřemičité sklo při 300 K (čerchované křivky): 6 — předem neodplyněné; 7 - po odplynení při teplotě 370 K během 5 h a potom vystavené vzduchu po dobu 14 h 3 3J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 4/40 Vakuová fyzika 2 Ocel Ocel je slitina železa, uhlíku a dalších legujících prvků, která obsahuje méně než 2,14 % uhlíku. Vyrábí se asi 2500 druhů ocelí. • nelegované oceli - obsah legujících prvků je nižší než 2,11 % • nízkolegované oceli - obsah legujících prvků po odečtení obsahu uhlíku je nižší než 5 % • vysoce legované oceli - obsah legujících prvků je vyšší než 5 % Nerezová ocel • austenitická - minimálně 10% chrómu a Ni, nemagnetická • feritická - minimálně 10% chrómu, magnetická Vlastnosti najdôležitejších austenitických chrómniklovýck ocelí £s. výroby (Poldina hut) Druh ocelí AKVN AKVS AKL AK V Extra AKV Extra S AKOU AKS 2 AKS Hustota g/cm3 7,85-7,9 ca 8,0 Najväčšia prevádzková teplota °C 400 800 400 400 800 (900) (600) (600) Pevnosť v ťahu7 kg/mm2 65 65 35 65 65 70 55 65 Ťažnosť7 /o 55 45 52 50 35 — 40 35 Medza tečenia7 kg/mm 2 25 28 20 27 30 35 24 25 Kontrakcia7 /o 60 60 63 60 60 55 65 65 Vrubová húževnatosť kg. m cm2 30 25 ■ — 30 20 15 30 30 Brinellova tvrdosť7 kg/mm2 185 185 155 185 195 — — 185 Eriehsenova skúška7 mm 13 11 14 12 11 — — — Merné teplo pri 20 CC cal/g ca 0,12 Tepelná vodivosť (20 °C) cal cm sek °C 0,035 -0,05 Súč. lin. rozťažnosti pri: 20-100 °C 10-71/°C 150 150 150 150 150 130 145 170 pri: 20—500 °C 10~7xl/°C 180 180 180 180 180 150 173 185 Magn. vlastnosti nemagn. (/z = 1,001-1,04) Chemicky odoláva HNOs HN03; H2S04; so2 HN03; H,S04 HC1 HC1 (nie proti HNCy Dodáva sa v tvare 3 4 5 « 1 2 3 4 & i 3 1 2 3 4 5 6 1 2 3 4 5 12 3 4 J i a -1 1 Tyče. 2 Výkovky. 3 Plechy, 4 Zvárané rúry. 6 Bezošvové rúry. 6 Drôt. ' Vo vyžíhanom stave. 4_ 4W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 >oq,o Vakuová fyzika 2 6/40 Stainless steel blank cleaned 2.7 107 5.4- 108 2.7 108 Stainless steel polished cleaned 2 10"8 4 10"9 2 10"10 Stainless steel pickled heated for 1 hour, 1.4 10-9 2.8 10"10 1.4 10-10 Stainless steel bead blasted vented with normal air 3 ■ 10 10 6.5 ■ 10"11 4 ■ 10-11 Steel Ni plated polished cleaned 2 10-7 1.5 108 5 10 9 Steel Cr plated polished cleaned 1.3 108 2.2- 10 9 1.2 109 Steel rusted 6 10-7 1.6 10"7 1 10"7 Steel blank cleaned 5 • 107 1 • 10"7 5 10-8 Steel bead blasted cleaned 4- 10"7 8 ■ 10"8 3.8 10"8 Aluminium cleaned 6 10s 1.7 ■ 108 1.1 ■ 10-8 Brass cleaned 1.6 10-6 5.6 10"7 4 10"7 Copper cleaned 3.5 10"7 9.5 ■ 10-8 5.5 ■ 10-8 Porcelain glazed 8.7 10-7 4- 107 2.8 107 Glass cleaned 4.5 10"9 1.1 ■ 109 5.5 ■ 10"10 Acrylic glass 1.6 10-6 5.6- 107 4 ■ 10'7 Neoprene 4 105 2.2 105 1.5 10"5 Perbunan 4 106 1.7 10"6 1.3 10"6 Viton 1.2 10-6 3.6- 10-7 2.2 10-7 Viton heated for 4 hours at 100 °C 1.2 ■ 10"7 5 ■ 10"8 2.8 10"8 Viton heated for 4 hours at 150 °C 1.2 10-9 3.3- 10"10 2.5 10-10 Teflon degassed 8 10"7 2.3 10"7 1.5 107 5 5firemnf mat. Pfeiffer >oq,o Vakuovä fyzika 2 7/40 Nerezavějící ocele používané ve vak.technice AISI Cr% Ni % C % M n % Si % Mo % ostatní 302 17-19 8-10 0.15 max.2 max.l - - 304 18-20 8-12 0.08 max.2 max.l - - 304L 18-20 8-12 0.03 max.2 max.l - - 316 16-18 10-14 0.08 max.2 max.l 2-3 - 316L 16-18 10-14 0.03 max.2 max.l 2-3 - 321 17-19 9-12 0.08 max.2 max.l - Ti 347 17-19 9-13 0.08 max.2 max.l - Nb+Ta 348 17-19 9-13 0.08 max.2 max.l - Nb+Ta AI a AI slitiny Čistý AI se špatně obrábí. Dural je obchodní označení pro různé slitiny obvykle 90 - 96 % hliníku a 4 -6 % mědi s menšími přísadami mědi, hořčíku, manganu aj. Oproti čistému hliníku (měrná hmotnost 2,7 g/cm3) je dural jen nepatrně těžší (typicky 2,8 g/cm3), ale až pětkrát pevnější v tahu i tvrdší. Pevnost i tvrdost se zvyšuje tepelným opracováním a zušlechťováním, podobně jako u ocelí. Používají se následující třídy hliníkových materiálů: • 2000 - nesvařitelné, vytvrditelné za tepla, dobrá pevnost; použití na komponenty; duralové slitiny (AlCuMg), • 3000 - slitiny AlMn, • 5000 - svařitelné, nevytvrditelné, • 6000 - svařitelné (musí se ještě ale tepelně upravit), vytvrditelné za tepla. Slitiny AlMgSi, • 7000 - svařitelné, vytvrditelné za tepla; slitiny AIZnMg, • 7075 - nejpevnější hliníková slitin AI slitiny - svařitelné slitina C u % Si % Mg % Cr% 4043 - 5 - - 5052 - - 2.5 0.25 6061 0.25 0.6 1.0 0.2 4 □ ► 4 ► 4 Příklad používaných materiál Gate valve VAT Series 08 Material • Valve body • DN 50 - EN AW-6082 • DN 63-100 - EN AW-5083 • Mechanism • DN 50 - AISI 301 • DN 63-100 AISI 304 4 □ ► 4 r5P ► Cu a Cu slitiny Druhy medi Obsah v % Poznámka Cu + Ag 0 p s Zn Hg Odkyslicená meď ^ 99,90 — 0,025 — — odkyslicená prísadou fosforu do taveniny Meď Lake ^ 99,90 — — — .— —• obsah Ag asi 0,003% (== 10oz/t) Elektrolytická meď ETPC1 ^ 99,90 (>0,04) (0,003) (0,03) — —- neobsahuje Ag Meď OFHC II. bez kyslíka2 ^ 99,92 < 0,001 0,0003 < 0,004 .—. — skúška na ohyb Meď OFHC I. bez kyslíka3 ^ 99,96 0,0000 0,0000 < 0,004 0,0003 0,0001 skúška na ohyb ^ 10x Meď bez plynov, vysoko čistá „GFHP"4 ^ 99,993 0,0000 0,0000 ^ 0,0001 tavená a odliata vo vákuu 1 Druh: .Electrolytic íough pitch copper. 2 Druh: Oxygen /ree Aigh Conductivity „regular" podia ASTM Spec. B 170-47 (stopy CuaO sú nedokázateľné v mikroskope pri zväčšení 75 x ). 3 Druh: Oxygen /ree Aigh Conductivity „certified" (stopy Cu^O sú nezistiteľné v mikroskope pri zväčšení 200 x). 4 Druh: 98,5 1,0-1,5 stopa Fosforový bronz 5 zvyšok 3,5-5,8 0,03-0,035 < 0,05 <0,1 < 0,30 (< 0,0i)1 Bronz na valcovanie WBz 6 podľa DIN 1705 = 94 = 6 « 0,2) 4 4 4 Fosforový bronz 8 92 7,0^-9,0 0,03^0,35 < 0,05 <0,10 < 0,20 «0,01)i Fosforový bronz 10 = 90 9,0-^-11,0 0,03-0,25 < 0,05 <0,10 <0,20 {< 0,01)1 Bronz na zlievanie GBz 14 86 ± 1 14 ± 1 < 1,0 <0,2 2 <0,23 Bronz na zlievanie GBz 20 80 ± 2 20 ± 2 < 1,0 <0,3 2 <0,2* 1 Sb sa piisádza len pre plechy. a Obsah Zn = 1 % včítane obsahu všetkých ostatných znečistenín (Pb, Sb, Fe, Mn, Bi; Al, Mg, S, As). 3 Ostatné znečisteniny [v %] podľa DIN 1705 : Mn < 0,2; Bi < 0,01; Al < 0,01; Me < 0,01; As < 0,15 (Ni < 0,5, v prípade potreby max. 1 % Ni), *) Pre vákuovú techniku 0,01 aj menej. 'W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 = Vakuová fyzika 2 16 / 40 Mosaz Obsah Cu aai % Symbol Označenie (*v_USA) Zloženie % Hlavné použitie t Cu Zn Pb Fe Ostatné 95 ♦Gilding metal 94-96 zvyšok < 0,03-^0,05 0,05 90 Ms 90 Červený tombak ♦Commercial Bronze 90 89-91 zvyšok zvyšok < 0,05 < 0,05 celkom < 0,13 spracovanie za studena (plechy, kovový tovar, jemné drôty, sitá, filtre) 1 85 Ms 85 Stredný tombak ♦Red Brass 85 84-86 zvyšok zvyšok < 0,05-0,06 < 0,05 Sn: < 0,15 80 Ms 80 Svetlý tombak ♦Low Brass 80 78,5-^81,5 zvyšok zvyšok < 0,05 < 0,05 i i 72 Ms 72 Žltý tombak 72 -zvyšok ťahanie, tlačenie, razenie (drôty, pružné vlnovce, plechy) j 70 (Ms 70) ♦Cartridge Brass 68,5H-71,5 zvyšok <0,07 < 0,05 ostatné < 0,15 67 Ms 67 Polotombak 67 zvyšok hlboké ťahanie (rúrky, dutinky, profily) tvrdé spáj- j 65 (Ms 65) ♦Yellow Brass 64-h67,5 zvyšok < 0,14-0,3 < 0,05 kovanie, použivatelné na vzduchu ; 63 Ms 63 Mosadz na tlačenie 63 zvyšok < 0,5 ostatné < 0,2 ťahanie, dobre tvárna za stu- ] dena, spájkovatelná s lahko tavitelnou spájkou striebornou 60 Ms 60 Mosadz kujná ♦Muntzov kov 60 59H-63 zvyšok zvyšok 0,2 < 1,1 0,15 lisovanie za tepla, zlé trieskové opracovanie ♦Forging Brass = 60- 38 kovanie, opracovanie trieskové na automatoch 58 Ms 58 Mosadz tvrdá 58 zvyšok 2 1 Podlá Dl N 1709, Werkstoffhandbuch a Metals Handbook. 8 V zátvorkách uvádzané druhy sa v Európe nepoužívajú a nie sú normalizované. 10 10 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 4 = ► Vakuová fyzika 2 17 / 40 Konstantan 0« cel 0.?\ 0,6 0,5 0.4 0,3 0,2 0,1 Cu Cu Ni -2 1_ °c 3-fO 2 0 20 40 60 (Cu) mNi 80 100% (Ni) Obr. 6,3-2. Závislosť tepelnej vodivosti X pri 20-200 °C 0br- 6>3'3- Závislost merného elektrického odporu q zliatin CuNi od obsahu Ni mm (vo váh. %). a jeho súemitela 0 = -i- . zliatin T^uNi od obsahu q dT m mm (vo váh. %). 11 11 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 i ► i oao Vakuová fyzika 2 18 / 40 "itan O 104 200 300 400 500 600 ffltflHj. 800 Obr, 7,2-18. Rozpustnost vodíka m v titáne v závislosti od tlaku Ha pri rôznych teplotách T (izotermy podia Sievertsa). o---o---o: sorpcia; x — x ~ x : desorpcia. 12 12 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 19 / 40 atomu plynu 10* atomu kovu 10' 103 10 \ Pú Pttec Fy 7 300 400 300 600 8001000 2000'C Ot>r. 3,5-6. Závislost rozpustnosti (C) vodíka v tantale a v iných kovoch od teploty T (pozři obr. 4,2-5,- 5,2-10, 7,1-7). 13 13 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 = Vakuová fyzika 2 20 / 40 Kovářové slitiny 8 n ß / > J / / f // // / / / / Z-*^- V m fW 600 *» -— T \*C\ Obr. 6,1-9. Priebeh rozťahovania pre zátavy do skla nevhodnej (nezvratnej) zliatiny FeMCo (52/24/24) pri ochladzovaní (---) a novom ohreve (-----): v hode Ar9 nastáva pri ochladzovaní premena ätruktúry z fázy 7 na fázu a, ktorá má oveľa väčšieho súčlnitela rozťažnosti ako sklo (—.—. — .—.), ktoré bolo svojím súcmiteľom rozťažnosti prispôsobené pôvodnej fáze 7 zliatiny FeNiCo. Pri ohreve zliatiny nad bod Afí3 sa síce premení do fázy y, avšak pri ochladzovaní na teplotu okolia sa"táto opätovne premení na fázu a, takže priebeh rozťažnosti je vždy nezvratný (pozri Espe ľl]). SJO' 1 200 S y 'fAr, Ac3 f 3 s f -* f s á" * / / / / t AT / / / / . ■ -^7^ ^Corning r . 7052 200 m m —— r[^] 800 ■2- Obr. 6,1-10- Priebeh rozťahovania pre zátavy do skla vhodnej (zvratnej) zliatiny FeJíiCo (54/28/17,5), pri ktorej na rozdiel od zliatiny podia obr. 6,1-9 bol bod Ar3 znížený podstatne pod teplotu okolia znížením obsahu kobaltu: žíháním pri vysokej teplote raz nadobudnutý stav 7 aa zachová ai pri ochladení na normálnu teplotu i počas ďaläieho ohrievania. Priebeh rozťahovania tejto kovarovej zliatiny na zátavy je a ostáva zvratný, pokial sa zliatina ne-ochladí pod —100 °C. AvSak aj vtedy môžeme zliatinu dokonale previesť späť do fázy 7 ohrevom nad 800 °C. Podobné zliatiny môžu byť bezchybne za-tavované do skla, ktorého súčiniteľ rozťažnosti je prispôsobený fáze 7 (napr. sklo „Corning 7052", krivka —. — .—). 14 14 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 < = ► 21 / 40 15 15 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 - Vakuová fyzika 2 5 ^)<\(y 22 / 40 16 16 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 = Vakuová fyzika 2 23 / 40 o im WO 300 —- r \°c\ ta? 500 Obr. 6,1-16, Rozptyl kriviek rozťažnosti rovnakej obchodnej zliatiny FeNiCo pre zátavy z rôznych šarží metalurgickej výrobne (Henry Wiggin [1]). 17 17 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 24 / 40 FeCr 130.10 -7 120 e 110 1 100 go 80 Cr "Fe S. 2 Qaz40O °C OailO o°c 60 0 10 20 30 40 50 Obr, 6,1-23. Závislosť súčinitela teplotnej lineárnej rozťažnosti am medzi 0 a 100 °C (pozri Vacuum-schmelze Hanau) a medzi 20 a 400 °C (pozri Partridge) zliatin CrFe od obsahu chrómu mQrt 18 18 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 < = ► Vakuová fyzika 2 25 / 40 E 5 E 3 2 1 O T i s* y'' > x-- 0 200 400 6Í 0 . 800 1000 12C Tfc] Obr. 6,1-35. Príznačné krivky rozťažnosti pre zliatiny chrómželeza (schematicky, pozri Rose [1]). (Plná krivka: fáza a; čiarkovaná: fáza y.) I: stabilná zliatina FeCr s 28% Cr a reverzibilnou krivkou rozťažnosti bez bodu zvratu a nepravidelnosti napriek ohrevu na 1200 °C: súčiniteľ rozťažnosti «25^.50O = (108 — 110). 10-7 .1/°C; II: nestabilná zliatina FeCr s 28% Cr (+0,12% C + 0,15% N2 + 0,30% M): pri ohreve nad 1150 °C nastane premenou fázy a na fázu -/ značne stabilná fáza austenitická, ktorá sa nedá previesť pri bežnom ochladení na —185 °C nazad do feritickej fázy a; preto zliatina po ohreve nad 1200 °C nadobudne väčšieho súčinitera rozťažnosti fázy -Aa.a. ■ „„ až do 120 . 10-ľ . 1/°C); 2o • 500 III: nestabilná zliatina FeCr so 17% Cr (bez dalších prísad): krivka rozťažnosti vykazuje počas ohrevu pri 800'C nepravidelnosť vyvolanú premenou zliatiny z fázy a na fázu y; pri ochladzovaní však spätná premena z fázy y na a prebieha až medzi 350— 200 "C, čo spôsobuje (pri zatavovaní do skla v tomto teplotnom rezsahu neúnosnú) nepravidelnosť v rozťažnosti. 19 19 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava I960 4 = ► Vakuová fyzika 2 26 / 40 Hg T v m T v m T v m °C tor g/cm2 sek °G tor g/cm4 sek °G Atm g/cm1 sek -1801 2 . 10-27 10-28 48 1 . 10-2 4,6 . 10-4 400 2 - 782 10-11 10-13 82 1 . 10-1 4,4 . 10-3 450 4,3 -38,93 2,5.10-6 1,3 . 10~7 126 1 4,1 . 10-2 500 7-8 -23,9 1 . io-5 5,2 . 10-7 200 17 6,5 . 10-1 600 22 -5,5 1 . io-4 5,5 . 10-6 300 246 800 86-102 18 1 . io-3 4,8 . 10-5 356,7 760 1 Přibližná teplota tekutého vzduchu. * Přibližná teplota suchého ladu (C02) v acetone. 3 Bod tavenia Hg. 20 W. Espe: Technológia h m ot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 i Bi 271 350 Cd 321 95 In 157 ô 20 P 5931 Pb 328 360 Sb 630 340 Sn 232 640 Zn 419 140 10-7 torov Teplota (°C) pre p = 10-8 torov 400 120 590 420 395 730 175 10_5 torov 474 148 667 2 483 466 823 211 1 Pre bielu (žltú) modifikáciu: 44,1 °C 2 Pre fialovú (kovovú) modifikáciu P: 10-2 torov pri 195 °C, 10-1 torov pri 220 °C. 28 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 36 / 40 Vakuová fyzika 2 Zloženie (váhové %) Bod tavenia °C Pozri Vhodné na spájkovanie Kevhodné na spájkovanie Ta fólia R 2996 W-W m Rh R R 2500 1970 vysoko zaťažený W alebo Mo W, Mo Zr, duktilný Pt R R 1860 1770 vysoko zaťažený W alebo Mo W, Mo do 1500 °C Ni (99%) R 1450 W, Mo do 1250 °C Ni Mo (53,5/46,5)3 E 13203 Mo, Fe CuNi (55/45)8 A 1300(liq) obr. 9,3-40 W, Mo CuNi (75/25) A 1205(Iiq) obr. 9,3-40 W, Mo AgPt (73/27) Cu R 1185 (so]) 1084 W, Mo Fe, kovar, monel kovar W, Mo* Cu + W + prášok V 1084 ako spájka z čistej Cu PtSn (70/30) E 1072 Au R 1063 obr. 4,5-2 Mo mriežka CuAu (70/30) CuAuNi (62/35/3)19 A 980 [1010]18 980 [1025]18 obr. 9,3-37 Fe, Cu, kovar W, Mo súčiastky elektrónok NiMn (43/57) M calOOO Ti s inými kovmi CuSi (97/3) Ag Ag + W - prášok10 A R V 970 1025 960 obr. 9,3-41 Cu na Cu Fe a Ni s náhradnou vrstvou spájky ako spájka z čistého Ag W, Mo AuNi (82/18) M 950 obr. 9,3-38 W, Mo CuSnAg (85/8/7) 946 [985]18 Cu, kovar 29 29 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 < = ► Vakuová fyzika 2 37 / 40 Zloženie (váhové %) fit Bod tavenia °C Pozri: Vhodné na spájkovanie Nevhodné na spájkovanie AgCuSn (59/31/10) CuP (91,6/8,4) Agln (80/20) E 720 [740]18 714 [751P8 693 obr. 9,3-36 20 Cu13 Fe, zliatiny-Fe, Ni, Mo, W AgCuln (63/27/10) AgCuSn (53/32/15) CuAgP (80/15/5)5 AgCdZnCu (50/18/16,5/15,5)« 685 [710]i8 670 [700]18 640 £704]"* 627 [635]18 pre stupňové spájkovanie v elektrónkach 20 Cu-Cu13 14 Fe, zliatiny-Fe, Ni, Mo W AgCuSn (42/33/25) Áuln (80/20)2 600 [630]i» 550/630 20 Au D 450-500 tab. 9,3-10 Cu a poměděné Čiastky PbAg (98/2) CdZnAg (78,4/16,6/5) E 304 280 [305]18 Cu-Cu14 najmä lamelové chladiče na Cu vonkajšej anódy 14 Sn R 232 Cu, Pt, Fe16 SnAg (89/11) 221 i« SnPb (63/37) In E 183 156 na predbežné pocínovanie Cu14 17 SnPbCd (50/25/25) 150 pre postriebrené plochy skla1*-16 30_ W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 38 / 40 Další materiály bariérové vrstvy např. Ti N pro H2 Mu - metal • stínění magnetického pole • složení: 77% Ni, 16% Fe, 5 %Cu, 2% Cr nebo Mo Beriliová měď - Cu + 2% Be superslitiny - např. Inconel 625 (58 % Ni, 23% Cr, Mo, Nb, Co, Mn, AI, Ti, Si, C, S, P) - , MKS - Baratron Vakuová fyzika 2 39 / 40 Desorpční proud z odplynéných materiálu materiál odplynení (10-11 Pa m/s) dural 20 h pri 100 °C 5.3 6061 dural výboj 200 °C 1.3 Cu-OFHC 24 h pri 250 °C 0.181 Cr(0.5 %)-Cu(99.5 %) 24 h pri 250 °C 0.357 AISI 304 30 h pri 250 °C 400 AISI 316L 2 h pri 800 °C 46 31 F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vákuová fyzika 2 40 / 40