Tenze par - tlak nasycených par je tlak par, které jsou při určité teplotě v rovnováze se svou kapalinou nebo pevnou látkou. • měříme celkový tlak v systému - pokud tlak ostatních složek zanedbatelný • měříme parciální tlak - nemůžeme zanedbat ostatní složky Požadavky: • manometr nesmí rozkládat měřený plyn • manometr nesmí měnit teplotu systému těmto požadavkům nejlépe vyhovují membránové manometry Vakuová fyzika 2 1/10 Speciální tenzimetry Hickmanův tenzimetr Schurerův tenzimetr - 10~2 — 10~6 torr kondenzační metoda - kapaliny, 150 - 300 °C metoda nosného plynu efůzní metoda podle Volmera Knudsenova efůzní metoda ve speciálních případech lze použít ionizační manometr, nebo hmotový spektrometr (rozklad molekul) Vakuová fyzika 2 2/10 Ob;. 7-41 a. Hickmannův tenzimetr D — destička L — měřená látka O — osa otáčení U — ukazatel otočení V — vlákno. 1_ 1L. Pátý: Fyzika nízkých tlaků, Academia, Praha 1968 Vakuová fyzika 2 3/10 vs i L Obr. 7-41 b. Schiirerův tenzimetr T — vlákno torsního závěsu 5 — solenoid N — vyvažující tělísko VS — k čerpacímu systému. 2_ 2L. Pátý: Fyzika nízkých tlaků, Academia, Praha 1968 Vakuová fyzika 2 4/10 Obr. 7-42. Kondenzační metoda Lx — vzorek látky, vložený před měřením L% — zkondenzovaná látka po ochlazení O — místo odtavení trubice se zbytkem L\ T — termostat. L. Pátý: Fyzika nízkých tlaků, Academia, Praha 1968< Vakuová fyzika 2 5/10 Metoda nosného plynu nad měřenou látkou proudí inertní plyn a odnáší páru měřeného plynu do jiné části přístroje kde dochází ke kondenzaci Pr = P Vr vD+v Pr - tenze par, Vp - objem přenesené páry za jednotku času, V - objem prošlého nosného plynu, P - celkový tlak vhodná metoda pro 200 - 0,1 torr Vakuová fyzika 2 6/10 Efůzní metoda podle Volmera Na tenkém vlákně je zavěšena komůrka, která má dva protilehlé otvory určité vzdálenosti od osy rotace. Komůrka je v čerpané trubici a je zahřívána vnější píckou. Do komůrky se vloží zkoumaná látka. Z úhlu natočení, plochy otvorů, setrvačnosti celého systému lze spočítat tenzi Měřící obor 10~2 — 10~5 torr. Knudsenova efůzní metoda Plocha s otvorem o ploše A, na jedné straně otvoru tlak nasycených par, na druhé straně nastává kondenzace. v — -nva , P = nkT 4 1 va v — - 4 kT P r , V = m motA AmkT m0tAva Měřící obor 10"2 - 10"5 hPa, teploty 200 - 2500 °C. Vakuová fyzika 2 vo 200 300 500 700 1000 2000 3000 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 5 ^) c\ o Vakuová fyzika 2 Material Pressure (Torr) 760-1 l-lO-3 lO-3 —10-5 10-5-10-7 lO-'-lO"18 Iron, steels good Cast iron, copper or aluminum good Rolled copper or alloys good Nickel and alloys Aluminum Glass, quartz Ceramics Mica Rubbers Plastics good good good good good good uood good good good good good good good good good bad good only after degassing bad only after degassing good only special types good good only after degassing good good with degassing only with vitreous coating only after strong degassing only degassed had only stainless steels bad only OFHC copper good not recommended only thick-walled only special types not recommended bad only Teflon, not recom-Araldite mended 'A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 <3 = Vakuová fyzika 2