Iontové vývěvy Iontové vývěvy se studenou katodou Diodové výbojové vývěvy Princip Penningův manometr - paralelní řazení, roštová anoda, katody Ti, Ta životnost katody ~ 50000 hodin - 5,7 let nepřetržitého provozu • napětí 2-10 kV • magnetické pole 0,01 - 0,2 T d O ion © atom (molekula) plynu o elekfron ahm J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 2/16 p (Po) J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 3/16 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 4/16 \ 8 + s; 6+ L- 21 O N O* 10"8 10 P (Torr) -h 10 -4 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Praktikum z vakuové fyziky 5/16 Čerpací rychlost jedné Penningovské cely empirické vzorce - Hartwing a Kouptsidis: nízké mag. pole LMF mód, B < Btr Slmf = 1,56 x 10-5P°'2lr2B2 [Is'1 vysoké mag. pole H M F mód, B > Btr 4 ni r 1,5 x l(ŕJ(B - Btr)rP, r Shmf = 9 x 10-4P°^lU[l ---^--^—] [Is U kde Btr = 7,63 rp0,05 [Gauss r,l - [cm], P - [torr] Čerpací mechanizmus chem. aktivní plyny (C>2,N2,...) - chemicky reagují s Ti - nitridy, oxidy ionty lehkých plynů (He, H2,...) po dopadu na povrch katody difundují do objemu těžší ionty (Ar, Xe,...) jsou na povrchu katody překrývány novou vrstvou Ti složitější molekuly (CH4,...) se rozkládají ve výboji na jednodušší fragmenty a atomy maximum čerpací rychlosti je ~ 10 4 Pa, klesá asi na polovinu při tlaku - 10"8 Pa Praktikum z vakuové fyziky 7 I 16 Argonová nestabilita io"3 f 10' 10 10'6 f 10 ■7 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 ■Al Time- Praktikum z vakuové fyziky J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 9/16 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky □ S1 10 / 16 Triodové výbojové vývěvy c) n vstup ff /s 0 H I M I M 1 I I I I Kl I IĽh I i. S "Tí S s i i i i i i i r I I ;l I I I I I 0 B J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky Tab. 4.19. Relativní čerpací rychlost (vzhledem k čerpací rychlosti pro vzduch) diodových a triodových titanových vývěv (orientační údaje) Plvr Deute-H7 j ír -i) num Diodová vvvěx u 2,7 1,9 Triodová vvvéva 2,0 CH4 1.5 Páry olejů 1-1,6 H20 CO, Vzduch N2 02 0,9. 0,6 Ne He Ar 0,12! 0,1 10,01 0,15i 0,1 -031