Manometry
aktivní - 0 - 10 V výstupní signál
digitální, sběrnice - RS-485, Profibus, DeviceNet,...
pasivní - elektronika připojená kabelem, odolné vůči radiaci
Praktikum z vakuové fyziky
1/15
Manometry
1. Měření vodivosti vakuových spojů - kapacitní 10 hPa + kapacitní 1000 Torr + diferenciální kapacitní
2. Kalibrace manometru - kapacitní 1100 hPa; 1,1 hPa + ionizační - studená katoda full range + Pirani
3. Graduace Penningova manometru - ionizační - studená katoda full range + žhavená katoda full range
4. Měření parciálích tlaků plynů - žhavená katoda full range
5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku -
kapacitní měrka 10 Torr
6. Naparování tenkých kovových vrstev - studená katoda full range
7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou -
žhavená katoda full range
8. Čerpací efekt molekulového síta - MicroPirani + piezo měrka
9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy - žhavená katoda full range
10. Seznámení s iontovou vývěvou - žhavená katoda full range
Typy manometrů
• ionizační - studená katoda full range - PKR 251, úlohy 2, 3, 6
• Tesla VC 2T, úloha 3
• ionizační - žhavená katoda full range - PBR 260, úlohy 4, 7, 9, 10
• Leybold IM 4, úloha 7
• kapacitní - řada CMR, úlohy 1, 2; Ceravac CTR, úloha 1,5
• Pirani - Balzers TPR 010, úloha 2
• diferenciální GDH 200-07, úloha 1
• MKS 910 - MicroPirani + piezo měrka, úloha 8
Přesnost manometrů
studená katoda full range - PKR 251 žhavená katoda full range - PBR 260 řada CMR - 0,2% of reading CTR - 0,2% of reading GDH 200-07 1% F.S.
30% pro p < 100 mbar 15% pro p < 10~2 mbar
Praktikum z vakuové fyziky
5/15
MKS 910
I/O Connector
KF16 flange
Manuál MKS - 910
Praktikum z vakuové fyziky
□
6/15
MKS 910
Analog output VDC (MKS Standard) 4 5 6
8
9
																							T		4f																									
		■	■	■	1	II						m																			■	1	II																	
																					*							■																			i—\ •			I
																				vurmMimni																											Pip;	7	r	
																																							m								i i tři	_		
		■		■	1	II																																	m											
																																																		
																																															i i			
1,0E-05        1.0E-04        1.0E-03        1.0E-02        1.0E-01        1.0E+00        1.0E+01        1.0E+02 1.0E+03
Pressure torr
(PR3/PR4 output)
manuál MKS - 910
Praktikum z vakuové fyziky
7 I 15
MKS 910
Specifications
Measuring range (N2 and Air):
MicroPirani
Accuracy ^ (N2)
Repeatability <1> (N2):
Piezo absolute
Accuracy Piezo <1>
Repeatability <1> (N2):
Supply Voltage:
Power consumption:
Fuse (thermal recoverable):
5x104 to 1x10-3 Torr: 1x103 to 100 Torr: 100 Torr to Atm.: 1x103 to 100 Torr:
0.1 to 10 Torr: 10 to 1000 Torr: 1000 to 1500 Torr: 10 to 800 Torr
1x10"5 to 1500 Torr
±10% of reading ± 5% of reading ± 25% of reading ± 2% of reading
±1% of reading ± 0.75% of reading ± 2% of reading ± 0.2% of reading
9-30 VDC < 1.2 Watt 200 mA
3manuál MKS - 910
Praktikum z vakuové fyziky
Ovládací jednotka TPG 261
• možnost pripojení aktivního manometru
• typ manometru a rozsah
• jednotky pro tlak - Pa, mbar, Torr
• 2 x relé
• analogový výstup 0 - 10 V
• nastavení ofsetu
• nastavení kalibračních konstant
• rychlost měření 50 s-1
• rychlost zobrazení 10 s_1
• možnost filtrů pro potlačení šumu
• funkce degas pro ionizační měrky se žhavenou katodou
• možnost řízení po sběrnici RS 232
□ {3
IGC100 - ovládací elektronika pro mano
• SRS - Stanford Research Systems, Inc.
• pro Bayard-Alpert ionizační manometry
• nastavení citlivosti
• jemné nastavení emisního proudu elektronu
• možnost připojit Pirani měrku
• analogový výstup, degas režim
• vstupní a výstupní kanály pro řízení procesu
• dotykový display
• RS 232
OMEGA FMA-A2402 - průtokoměr
Omega Engineering 50 sccm, Ar termoelektrický princip regulační ventil
přesnost 1% pro kalibrační plyn analogový vstup a výstup
—i—■	
	
R, ^ h	h J
=)U
st
S.Ďacľo, LBejček, A. Platil: Měření průtoku a výšky hladiny^ Ber^, Praha 2005
Praktikum z vakuové fyziky
12 / 15
PS325 - vysokonapäťový zdroj
• SRS - Stanford Research Systems, Inc.
• 2500 V, max. 10 mA, 25 W
• nastavení polarity
• analogový výstup 0 - 10 V
• analogový vstup 0 - 10 V
• zobrazení napětí a proudu
• ochrana při přetížení
Napařovačka
B30 - Hochvakuum Dresden, NDR modernizace - vývěvy dva držáky pro lodičky a spirály nový zdroj proudu VS400A - až 400 A měření tloušťky vrstvy pomocí krystalu
OM 402UNI - univerzální panelové měřidlo
Orbit Merret, spol. s r.o.
svorkovnice pro připojení vstupů a výstupů
napětí až 40 V, DC
proud až 20 mA, DC
odpor 100 kO
měření teploty Pt 50, Pt 100, Pt 500, Pt 1000 měření teploty - termočlánky J, K, T, E, B, S, R, N, L přepočet hodnot, relé RS 232, RS 485, ovládací software
Praktikum z vakuové fyziky
15 / 15