Iontové vývěvy Iontové vývěvy se studenou katodou Diodové výbojové vývěvy Princip Penningův manometr - paralelní řazení, roštová anoda, katody Ti, Ta životnost katody ~ 50000 hodin - 5,7 let nepřetržitého provozu • napětí 2 - 10 kV • magnetické pole 0,01 - 0,2 T d O ion © atom (molekula) plynu o elekfron ahm J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 2/15 p (Po) J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 3/15 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 4/15 \ 8 + s; 6+ L- 21 O N O* 10"8 10 P (Torr) -h 10 -4 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Praktikum z vakuové fyziky 5/15 Čerpací rychlost jedné Penningovské cely empirické vzorce - Hartwing a Kouptsidis: nízké mag. pole LMF mód, B < Btr Slmf = 1,56 x 1(T5P°'2lr2B2 [ls_1 vysoké mag. pole H M F mód, B > Btr Shmf = 9 x 10-4P°'HU[1 - 1,5 x l(ry/(B - Btr)rP U ] [k kde Btr = 7,63 rp0,05 [Gauss r,l - [cm], P - [torr] Čerpací mechanizmus chem. aktivní plyny (C>2,N2,...) ionty lehkých plynů (He, H2,...) difundují do objemu těžší ionty (Ar, Xe,...) jsou na vrstvou Ti složitější molekuly (CH4,...) se fragmenty a atomy maximum čerpací rychlosti je ~ tlaku - 10"8 Pa - chemicky reagují s Ti - nitridy, oxidy po dopadu na povrch katody povrchu katody překrývány novou rozkládají ve výboji na jednodušší 10~4 Pa, klesá asi na polovinu při Argonová nestabilita io"3 f 10' 10 10'6 f 10 ■7 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 ■Al Time- Praktikum z vakuové fyziky J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 9/15 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky □ S1 10 / 15 Triodové výbojové vývěvy c) n vstup /s 0 I M I M 1 I I I I Kl I IĽh I i. S "Tí S s i i i i i i i r I I ;l I I I I I 0 B J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky Tab. 4.19. Relativní čerpací rychlost (vzhledem k čerpací rychlosti pro vzduch) diodových a triodových titanových vývěv (orientační údaje) Plvr Deute-H7 j ír -i) num Diodová vvvěx u 2,7 1,9 Triodová vvvéva 2,0 CH4 1.5 Páry olejů 1-1,6 H20 CO, Vzduch N2 02 0,9. 0,6 Ne He Ar 0,12! 0,1 10,01 0,15i 0,1 -031