Vakuové ventily
Dělení podle různých principů Podle funkčnosti
• oddělovací
• napouštěcí
• zavzdušňovací
• omezení čerpací rychlosti Ovládání
• ruční
• pneumatický
• elektromagnetický Oblast použití
• hrubé vakuum
• HV vakuum
• UHV, XHV vakuum
Praktikum z vakuové fyziky
2/15
Kulový ventil
A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990
Praktikum z vakuové fyziky
3/15
Jehlový ventil
J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981
□
=
Praktikum z vakuové fyziky
Deskový ventil
F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003)
Praktikum z vakuové fyziky
5/15
EVN-116
j ' '_i_é_i_i i        li.
10-«      10 5     10 *      10 3      10*     10 10        100 11100
Gas flow Imbar l.sl
firemní mat. Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
6/15
EVR-116
G as f tow (mbar l/sl
A
1000 100 10
1
10' 10J
103
104 10s
10*
6
9
10
USTG(VJ
EVR 116, Gas regulating valve
firemní mat. Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
7 I 15
UDV-046
r-*>-	
f--- 4	
	
DN 16 CF*
UDV 046, All-metal gas dosing valve
firemní mat. Pfeiffer min. 1 x 10 9 hPal/s
Praktikum z vakuové fyziky
• deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 hPa
• ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů
• jehlové ventily - nedotahovat silou
• zábrusové ventily - dobře namazat
□ (3
=
5 -T)<\o
Praktikum z vakuové fyziky
Rozebíratelné spoje
zábrusy - zejména skleněné aparatury ISO-KF, (NW) ISO-K, ISO-F CF
Praktikum z vakuové fyziky
10 / 15
ISO-KF
firemní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
11 / 15
ISO-K, ISO-F
CF
Praktikum z vakuové fyziky
13 / 15
OFHCCopper Gasket
firemní materiály firmy Pfeiffer
Praktikum z vakuové fyziky
14 / 15
tesnení	min. tep [ °C]	max. tep. [ °C\
elastomer		
FKM	-15	150
NBR	-25	120
CR	-5	120
EPDM	-50	130
silikon	-55	200
kov		
Cu	-196	200
Cu + Ag	-196	450
Al	-196	150
In	-196	60
□       SP -
Praktikum z vakuové fyziky
15 / 15