Kovy ocel AI a AI slitiny Cu a Cu slitiny Ti kovar Hg Vakuová fyzika 2 1/42 cm*(NTP) SO 40 30 20 10 ■i i 7 1 i 1 \ 500 1000 1500 2000 t(QC) Obr. 6.1. Závislost množství vodíku (v cm3 při normálním tlaku) rozpuštěného v 100 g kovu na teplotě (podle Waldschmidta a kol, 1954) J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 □ i3 2/42 L, Cfolš'cm3) /útes 10' 10 -6 fO -7 -e > \ V v \ \ \ v \ \ v \ \\ < s. v OJ 10 100 t (h) Obr. 6.2. Proud uvolňovaného plynu z jednotky povrchu kovu a skla (lx des) v závislosti na dobé během níž byl materiál vložen do vakua (podle R. Henryho, 1969). Nerezavějící ocel X18H10 při 670 K (plné křivky): 1 — neopracovaná, mořená; 2 — mechanicky leštěná, mořená: 3 — elektrolyticky leštěná po dobu 15 min. Lehká hliníková slitina (s obsahem Mg, Mo a Cr) při 300 K (čárkované křivky): 4 — neopracovaná; 5 — neopracovaná, mořená. Borokřemičité sklo při 300 K (čerchované křivky): 6 — předem neodplyněné; 7 - po odplynení při teplotě 370 K během 5 h a potom vystavené vzduchu po dobu 14 h J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 3/42 Ocel Ocel je slitina železa, uhlíku a dalších legujících prvků, která obsahuje méně než 2,14 % uhlíku. Vyrábí se asi 2500 druhů ocelí. • nelegované oceli - obsah legujících prvků je nižší než 2,11 % • nízkolegované oceli - obsah legujících prvků po odečtení obsahu uhlíku je nižší než 5 % • vysoce legované oceli - obsah legujících prvků je vyšší než 5 % Nerezová ocel • austenitická - minimálně 10% chrómu a Ni, nemagnetická • feritická - minimálně 10% chrómu, magnetická Vlastnosti najdôležitejších austenitických chrómnildových ocelí Ss. výroby (Poldina hut) Druh ocelí AKVN AK V S AKL AK V Extra AKV Extra S AK OK AKS 2 AKS Hustota g/cm3 7,85-7,9 ca 8,0 Najväčšia prevádzková teplota °C 400 800 400 400 800 (900) (600) (600) Pevnosť v ťahu7 kg/mm2 65 65 35 65 65 70 55 65 Ťažnosť /o 55 45 52 50 35 — 40 35 Medza tečenia7 kg/mm2 25 28 20 27 30 35 24 25 Kontrakcia7 /o 60 60 63 60 60 55 65 65 Vrubová húževnatosť kg. m cm2 30 25 „ 30 20 195 15 30 30 Brinellova tvrdosť7 kg/mm2 185 185 155 185 — — 185 Eriehsenova skúška7 mm 13 11 14 12 11 — — Merné teplo pri 20 CC cal/g oa 0,12 Tepelná vodivosť (20 °C) cal cm sek °C 0,035 -0,05 Súč. lin. rozťažnosti pri: 20-100 °C pri: 20-500 °C 10-71/°C 150 150 150 150 150 130 145 170 10-7xl/°C 180 180 180 180 180 150 173 185 Magn. vlastnosti nemagn. [fi = 1,001 — 1,04) Chemicky odoláva HN03 HNOs; H2S04; S02 HN03; I£,S04 HC1 HC1 (nie proti HNO3) Dodáva sa v tvare 3 4 5 « 1 2 3 4 5 1 3 1 2 3 4 B 6 1 2 3 4 5 12 3 4 12-1 1 Tyče. 2 Výkovky, 3 Plechy, 4 Zvárané rúry. 5 Bezošvové rúry. 6 Drôt. ' Vo vyžlhanom stave. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 5/42 Nerezavějící ocele používané ve vak.technice AISI Cr % Ni % C % M n % Si % Mo % ostatní 302 17-19 8-10 0,15 max.2 max.l - - 304 18-20 8-12 0,08 max.2 max.l - - 304L 18-20 8-12 0,03 max.2 max.l - - 316 16-18 10-14 0,08 max.2 max.l 2-3 - 316L 16-18 10-14 0,03 max.2 max.l 2-3 - 321 17-19 9-12 0,08 max.2 max.l - Ti 347 17-19 9-13 0,08 max.2 max.l - Nb+Ta 348 17-19 9-13 0,08 max.2 max.l - Nb+Ta 304LN 316LN Y t 316L 317L |W |w CR 304—► 316—^317 t w M 303 <—302 Fig. 16.4 Stainless steels used in vacuum equipment (AISI designation). CR = corrosion resistance, W = ease of welding, Y = yield strength, and M = ease of machining. Reprinted with permission from Vacuum, 26, p. 287, C. Geyari. Copyright 1976, Pergamon Press, Ltd. F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Označení - normy druh DIN ČSN AISI Al 1.4305 17 243 PH 303 A2 1.4301 17 240 304 1.4306 17 249 304L A3 1.4541 17 248 321 A4 1.4401 17 346 316 1.4404 17 349 316L A5 1.4571 17 348 316TÍ □ S1 Table 16.3 Outlawing Rates of 316L Stainless Steel After Different Processing Conditions" Outgassing Rates (10" Pa-m/s) Sample Surface Treatment H2 H20 CO Ar COj A Pumped under vacuum for 75 h 50 h vacuum bakeout at 150°C 893 387 573 17 87 6 13. 0.4 B 40 h vacuum bakeout at 300°C 83 0.7 2.2 — 0.01 C Degassed at 400°C for 20 h in a vacuum furnace (6.5x 10"7 Pa) 19 0.3 0.44 0.16 0.11 D Degassed at 800°C for 2 h in a vacuum furnace (6.5 x 10'7 Pa) Exposed to atmosphere for 5 mo, pumped under vacuum for 24 h 20-h vacuum bakeout at 150°C 3.6 3.3 73 0.07 67 0.08 ■ — 0.05 13 0.04 E 2 h in air at atmospheric pressure at 400°C Exposed to atmosphere for 5 mo, pumped under vacuum for 24 h 20-h vacuum bakeout at 150°C 17 17 80 0.75 1.12 69 0.37 — 0-4 33 0.17 F 2 h in oxygen at 27,000 Pa at 400°C 20-h vacuum bakeout at 150° 600 5.2 253 0.09 0.4 123 0.51 — G 2 h in oxygen at 2700 Pa at 400°C 20-h vacuum bakeout at 150°C — 20 0.9 13 0.64 8.7 0.45 — H 2 h in oxygen at 270 Pa at 400°C 20-h vacuum bakeout at 150°C 5.7 16 3.2 52 0.36 19 2 — Source. Reprinted with permission from J. Vac Sci. Technoi, 14, 1210, R. Nuvolone. Copyright 1977, The American Vacuum Society. "All samples were first degreased in perchioroethylene vapor at 125°C, ultrasonically washed for 1 h in Diversey 708 cleaner at 55°C, rinsed with clean water, and dried. F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) □ Si - = s •OQ^o Vakuova fyzika 2 9/42 AI a AI slitiny Čistý AI se špatně obrábí. Dural je obchodní označení pro různé slitiny obvykle 90 - 96 % hliníku a 4 - 6 % mědi s menšími přísadami hořčíku, manganu aj. Oproti čistému hliníku (měrná hmotnost 2,7 g/cm3) je dural jen nepatrně těžší (typicky 2,8 g/cm3), ale až pětkrát pevnější v tahu i tvrdší. Pevnost i tvrdost se zvyšuje tepelným opracováním a zušlechťováním, podobně jako u ocelí. Používají se následující třídy hliníkových materiálů: • 2000 - nesvařitelné, vytvrditelné za tepla, dobrá pevnost; použití na komponenty; duralové slitiny (AlCuMg) • 3000 - slitiny AlMn • 5000 - svařitelné, nevytvrditelné • 6000 - svařitelné (musí se ještě ale tepelně upravit), vytvrditelné za tepla. Slitiny AlMgSi • 7000 - svařitelné, vytvrditelné za tepla; slitiny AIZnMg, 7075 - nejpevnější hliníková slitin AI slitiny - svařitelné slitina Cu % Si % Mg % Cr % 4043 - 5 - - 5052 - - 2,5 0,25 6061 0,25 0,6 1,0 0,2 □ S1 Příklad používaných materiálů Gate valve VAT Series 08 Material • Valve body • DN 50 - EN AW-6082 • DN 63-100 - EN AW-5083 • Mechanism • DN 50 - AISI 301 • DN 63-100 AISI 304 □ t3 Cu a Cu slitiny Druhy medi Obsah v % Poznámka Cu + Ag 0 p s Zn Hg Odkysličená meď ^ 99,90 — 0,025 — — odkysličená prísadou fosforu do taveniny Meď Lake > 99,90 — — — — —■ obsah Ag asi 0,003% (= 10oz/t) Elektrolytická meď ETPC1 ^ 99,90 (>0,04) (0,003) (0,03) — — neobsahuje Ag Meď OFHC II. ^ 99,92 < 0,001 0,0003 < 0,004 —. — skúška na ohyb bez kyslíka2 Meď OFHC I. ^ 99,96 0,0000 0,0000 < 0,004 0,0003 0,0001 skúška na ohyb bez kyslíka3 ^ 10X Meď bez plynov, ^ 99,993 0,0000 0,0000 ^ 0,0001 — — tavená a odliata vysoko čistá vo vákuu „GFHP"1 1 Druh: .Electrolytic rough pitch copper. 8 Druh: Oxygen /ree Aigh Conductivity „reguľar" podia ASTM spec. B 170-47 (stopy Cu20 aú nedokázateľné v mikroskope pri zväčšení 75 x ). * Druh: Oxygen /ree Aigh Conductivity ^certified" (stopy Cu^O sú nezistiteľné v mikroskope pri zvačgení 200 x). 4 Druh: Oas /ree Aigh purity. Výrobca: American Metal Corp. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 14/42 O 200 400 600 800 ' 1000fC] —^ T W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 15 / 42 Q mm2 m 0,16 0,14 0,12 0,10 0,08 Ofiä 0,04 0,02 O • • • 1 t 1 \ • • i 1 1 t > 1 A 1 O 200 400 600 800 1000 [V] —* T O b r. 5,4-8. Porovnanie závislosti merného elektrického odporu q od teploty T pri medi a iných dobre vodivých kovoch. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 16 / 42 Označenie Obsah % Cu Sn P Pb Fe Zn j Sb Fosforový bronz 1 > 98,5 1,0^1,5 stopa Fosforový bronz 5 zvyšok 3,5-^5,8 0,03h- 0,035 < 0,05 <0,1 < 0,30 (< 0,0i)1 Bronz na valcovanie WBz 6 podľa DIN 1705 = 6 K 0,2) 4 4 4 Fosforový bronz 8 92 7,0^-9,0 0,03^0,35 < 0,05 <0,10 < 0,20 «0,01)! Fosforový bronz 10 = 90 9,0-11,0 0,03^-0,25 < 0,05 <0,10 < 0,20 {< 0,01)1 Bronz na zlievanie GBz 14 86 ± 1 14 ± 1 < 1,0 <0,2 2 <0,23 Bronz na zlievanie GBz 20 80 ± 2 20 ± 2 < 1,0 <0,3 2 <0,2* 1 Sb sa prisádza len pre plechy. 8 Obsah Zn = 1 % včítane obsahu všetkých ostatných znečistenín (Pb, Sb, Fe, Mn, Bi; Al, Mg, S, As). 3 Ostatné znečisteniny [v %) podľa DIN 1705 : Mn < 0,2; Bi < 0,01; Al < 0,01; M.er < 0,01; As < 0,15 (Ni < 0,5, v prípade potreby max. 1 % Ni). 4) Pre vákuovú techniku 0,01 aj menej. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 17 / 42 Mosaz Obsah Cu aai % Symbol t Označenie (*v USA) Zloženie % Hlavné použitie Cu Zn Pb Fe Ostatné 95 ♦Gilding metal 94-96 zvyšok < 0,034-0,05 0,05 spracovanie za studena (plecby, kovový tovar, jemné drôty, sitá, filtre) 90 Ms 90 Červený tombak ♦Commercial Bronze 90 89-91 zvyšok zvyšok < 0,05 < 0,05 celkom < 0,13 85 80 72 Ms 85 Stredný tombak *Red Brass 85 84-^86 zvyšok zvyšok < 0,05-0,06 < 0,05 Sn: < 0,15 Ms 80 Svetlý tombak *Low Brass 80 78,5^-81,5 zvyšok zvyšok < 0,05 < 0,05 Ms 72 Žltý tombak 72 zvyšok ťahanie, tlačenie, razenie (drôty, pružné vlnovce, plechy) 70 (Ms 70) ♦Cartridge Brass 68,5-1-71,5 zvyšok zvyšok <0,07 < 0,05 ostatné < 0,15 67 Ms 67 Polotombak 67 hlboké ťahanie (rúrky, dutinky, profily) tvrdé spáj-kovanie, použivatelné na vzduchu 65 (Ms 65) ♦Yellow Brass 644-67,5 zvyšok < 0,1-40,3 < 0,05 63 Ms 63 Mosadz na tlačenie 63 zvyšok < 0,5 ostatné < 0,2 ťahanie, dobre tvárna za studena, spájkovatelhá s lahko tavitelnou spájkou striebornou 60 Ms 60 Mosadz kujná ♦Muntzov kov 60 594-63 zvyšok zvyšok < 1,1 0,2 0,15 lisovanie za tepla, zlé trieskové opracovanie ♦Forging Brass = 60- 38 4=2 kovanie, opracovanie trieskové na automatoch 58 Ms 58 Mosadz tvrdá 58 zvyšok 2 1 Podlá DI3ST 1709, Werkstoffhandbuch a Metals Handbook. 8 V zátvorkách uvádzané druhy sa v Európe nepoužívajú a nie sú norrnaUzované. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 18/42 Konstantan co I cms»cx\ OJ 0.6 X . 0,5 ' 0,4 0,3 0,2 0,1 Cu Ni '2W OX Cu 5 ku Qjnm m 0,8 ? 0t€ 0,4 0,2 CuNt > / i \ r- / '/ t \ \ \ / \ \ v /\ / N 3*0 íO 15 20 25 30 35 40 4 5 * 2 0 20 40 60 (Cu) mNi 80 100 X (Ni) Obr. 6,3-2. Závislosť tepelnej vodivosti % pri 20-200 °C 0br- 6>3'3- Závislosť merného elektrického odporu q zliatin CuMod obsahu M mm (vo váh. %). a jeho súčiniteľa 0 =x A . Í£ zliatin tJuNi od obsahu Q aT M mm (vo váh. %). W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 S" □ vákuová fyzika 2 Titan O 104 200 300 400 500 600 rronHj. 800 Obr. 7,2-18. Rozpustnost vodíka m v titáne v závislosti od tlaku Hs pri rôznych teplotách T (izotermy podia Sievertsj o---o---o: sorpcla; x — x — x : desorpcia. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 atomů plynu 10* atomu kovu 10' 70' 10 10 300 400 500 600 800 WOO 2000'C Ohr. 3,5-6. Závislost rozpustnosti (C) vodíka v tantale a v iných kovoch od teploty T (pozři obr. 4,2-5,- 5,2-10, 7,1-7). W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 □ Vakuová fyzika 2 Kovářové slitiny Aj/**" / / / c / / / / / -ŕ V 200 tm m ®f> — r fcl O br. 6,1-9. Priebeh rozťahovania pre zátavy do skla nevhodnej (nezvratnej) zliatiny FeMCo (52/24/24) pri ochladzovaní (---) a novom ohreve (-----): v hode Ars nastáva pri ochladzovaní premena štruktúry z fázy 7 na fázu a, ktorá má oveľa väčšieho súčiniteľa rozťažnosti ako sklo (—.—. — . — ), ktoré bolo svojím súčmiteľom rozťažnosti prispôsobené pôvodnej fáze / zliatiny FeNiCo. Pri ohreve zliatiny nad bod ACs sa síce premení do fázy y, avšak pri ochladzovaní na teplotu okolia sa"táto opätovne premení na fázu a, takže priebeh rozťažnosti je vždy nezvratný (pozri Espe ľl]). SK)' / 3 si " f / -ŕ #- / / / f * / / / / _ ^ Corning r -7052 200 // 200 ---r [v] m 0br, 6,1-10. Priebeh rozťahovania pre zátavy do skla vhodnej (zvratnej) zliatiny FeííiCo (54/28/17,5), pri ktorej na rozdiel od zliatiny podia obr. 6,1-9 bol bod Ars znížený podstatne pod teplotu okolia znížením obsahu kobaltu: žíháním pri vysokej teplote raz nadobudnutý stav y aa zachová at pri ochladení na normálnu teplotu i počas ďaläieho ohrievania. Priebeh rozťahovania tejto kovarovej zliatiny na zátavy je a ostáva zvratný, pokiaľ sa zliatina ne-ochladí pod —100 °C. Avšak aj vtedy môžeme zliatinu dokonale previesť späť do fázy y ohrevom nad 800 °C. Podobné zliatiny môžu byť bezchybne za-tavované do skla, ktorého súčiniteľ rozťažnosti je prispôsobený fáze y (napr. sklo „Corning 7052", krivka — .—.—). W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 = Vakuová fyzika 2 22 / 42 W. Espe: Technológia hmôt vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 23 / 42 Vakuová fyzika 2 24 / 42 o im m m m 500 eso --- r \"C) O br. 6,1-16. Rozptyl kriviek rozťažnosti rovnakej obchodnej zliatiny ÍWÍCo pre zátavy z rôznych šarží metalurgickej výrobne (Henry Wiggin [1]). W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 25 / 42 FeCr 130.10 -7 120 e 110 t 100 go 80 Cr~Fe Dař 400 OažíQ o°c 60 0 10 20 30 40 50 —~mCr[%Cr] Obr, 6,1-23. Závislost súčinitela teplotnej lineárnej rozťažnosti am medzi 0 a 100 °C (pozri Vacuum-schmelze Hanau) a medzi 20 a 400 °C (pozri Partridge) zliatin CrFe od obsahu chrómu mCrt W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 5 ^)c\0 26 / 42 8.10 E E T f - /f > /- --f 0 200 400 600 8 J0 1000 12C C ■TpC] Obr. 6,1-35. Príznačné krivky rozťažnosti pre zliatiny chrómželeza (schematicky, pozri Rose [1]). (Plná krivka: fáza a; čiarkovaná: fáza y.) I: stabilná zliatina FeCr s 28% Cr a reverzibilnou krivkou rozťažnosti bez bodu zvratu a nepravidelnosti napriek ohrevu na 1200 °C: súčiniteľ rozťažnosti a25^500 = (108 — 110). 10-7 .1/°C; II: nestabilná zliatina FeCr s 28% Cr (+0,12% C + 0,15% Na + 0,30% M): pri ohreve nad 1150 °C nastane premenou fázy a na fázu y značne stabilná fáza austenitická, ktorá sa nedá previesť pri bežnom ochladení na —185 °C nazad do feritickej fázy a; preto zliatina po ohreve nad 1200 °C nadobudne väčšieho súčinitera rozťažnosti fázy j-(a až do 120. 10-7 . 1/°C); III: nestabilná zliatina FeCr so 17% Cr (bez dalších prísad): krivka rozťažnosti vykazuje počas ohrevu pri 800 'C nepravidelnosť vyvolanú premenou zliatiny z fázy a na fázu y \ pri ochladzovaní však spätná premena z fázy y na a prebieha až medzi 350 —200 °C, čo spôsobuje (pri zatavovaní do skla v tomto teplotnom rezsahii neúnosnú) nepravidelnosť v rozťažnosti. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 27 / 42 Hg T V m V m T V m °C tor g/em2 sek °c tor g/cm2 sek °C Atm g/cm1 sek -1801 2 . 10-27 io-28 48 1 . IO"2 4,6 . 10-4 400 2 - 782 10-11 iO-13 82 1. io-1 4,4. 10-3 450 4,3 -38,93 2,5.10-6 1,3 . 10~7 120 1 4,1 . IO-2 500 7-8 -23,9 1 . io-5 5,2 . 10-7 200 17 6,5 . 10-1 600 22 -5,5 1 . 10~4 5,5 . 10-6 300 246 800 86-102 18 1 . io-3 4,8 . 10-5 356,7 760 1 Približná teplota tekutého vzduchu. 2 Približná teplota suchého ladu (C02) v acetóne. 3 Bod tavenia Hg. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 vákuová fyzika 2 □ ► 4 rS 28 / 42 c W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 29 / 42 Obr. 6,1-17. Indukčná pec pre tavenie a zlievanie kovov vo vákuu (pozri Stauffer, Malcolm). Vlavo: sklopená pec počas zlievania vo vákuu; vpravo: príklad vodou chladenej, pomocou príruby na pec vákuovotesne pripojiteľnej kokily. 1 — vákuová nádoba pece; 2 — taviaci téglik; 3 — indukčná cievka na vyhrievanie; 4 — ochrana proti sálaniu; 5 — od pojiteľný nástavok s kokilou; 6 — ohybný gumený prívod alebo bronzový vlnovec pre čerpanie; 7 — os sklápania taviacej pece; 8 — príruba na pripevnenie nástavku s kokilou; 9 — forma (napr. z tenkostennej medi); 10 — plást vodného chladenia; 11 — spirálovitá medzistena pre vedenie chladiacej vody; 12 — prívod vody; 13 — odtok vody. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 30 / 42 Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 31 / 42 Další materiály • Au, Ag, Pt • W, Mo, Ta • žhavené katody - W, iridium s vrstvou oxidu ytritého nebo thoričitého, rhenium • invar (Fe64 - Ni36) - malá tepelná roztažnost • materiály pro depozice • bariérové vrstvy např. TiN pro H2 •Mu - metal • stínění magnetického pole • složení: 77% Ni, 16% Fe, 5 %Cu, 2% Cr nebo Mo • Beriliová bronz - Cu + 0,2 - 3% Be • superslitiny - např. Inconel 625 (58 % Ni, 23% Cr, Mo, Nb, Co, Mn, AI, Ti, Si, C, S, P), MKS - Baratron Vakuová fyzika 2 32 / 42 Měrka pro XHV vakuum speciální typ ionizační měrky Top view of the 3BG-03, without the cover on the deflector and collector. The flanged mounting surface of the deflector can be seen in the picture, with its 3 mounting holes. Within the functional volume of the gauge, the deflector is an open array of bars and slots. Grid ( Pt clad Mo wire) Filament (Ir-Y203) - . Collector I (Au-SUS) Gauge Body (0.2%BeCu alloy) Bent Belt-Beam firemní materiály VacLab Inc. Vakuová fyzika 2 33 / 42 Měrka pro XHV vakuum Bent Belt-Beam - ionizační manometr • 3BG-03 • citlivost 5-8x 10~2 Pa-1 • min. tlak 5 x 10~12 Pa pro porovnaní ionizační manometr z vak. praktika PBR 260 - Pirani + ionizační se žhavenou katodou • rozsah měření 5 x ÍO"10 - 1000 hPa Spojování kovů Svařování • elektrickým obloukem • elektrickým obloukem v ochranné atmosféře (Ar, He) • plamenem • elektronovým svazkem • za studena Letování • měkké - teplota tání do 450 °C • tvrdé - teplota tání nad 450 °C Vakuová fyzika 2 35 / 42 Welding Non-pressure process I Gas 1 Pressure process Arc Electron beam Resistance Cold Spot Seam Butt Area tom Argonarc (heharc) Carbonarc Aircoma t ic Flash Upset Friction A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 □ S1 Obr. 9,3-15. Schéma zariadenia na zváranie za studena medených čerpacích rúrok. A — pohyb klieŠtin; H — rúrka zvarená za studena; C — odtrhnutá čerpacia rúrka. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 □ <3 - 1 -O o,o 37 / 42 Vakuová fyzika 2 38 / 42 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 39 / 42 Tabulka 9,3-5 Bod tavenia Tiav a tlak nasýtených pár p zložiek mäkkých spájok Kov Ttav <°C> Teplota (°C) pre p = 10"' torov 10-8 torov 10 ~5 torov Bi 271 350 Cd 321 95 In 157 ô 20 P 5931 Pb 328 360 Sb 630 340 Sn 232 640 Zn 419 140 400 120 590 420 395 730 175 474 148 667 2 483 466 823 211 1 Pre bielu (žltú) modifikáciu: 44,1 °C 2 Pre fialovú (kovovú) modifikáciu P: 10-2 torov pri 195 °C, 10-1 torov pri 220 °C. W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 □ S" 40 / 42 Zloženie (váhové %) % E S" Bod tavenia °C Pozri Vhodné na spájkovanie Nevhodné na spájkovanie Ta fólia R 2996 W-W7 Nb Rh R R 2500 1970 vysoko zaťažený W alebo Mo W? Mo Zr, duktilný Pt R R 1860 1770 vysoko zaťažený W alebo Mo W, Mo do 1500 °C Ni (99%) R 1450 W, Mo do 1250 °C Ni Mo (53,5/46,5)3 E 13203 Mo, Fe CuNi (55/4S)8 A 1300(liq) obr. 9,3-40 W, Mo CuNi (75/25) A 1205(liq) obr. 9,3-40 W, Mo AgPt (73/27) Cu R 1185 (sol) 1084 W, Mo Fe, kovar, monel kovar W, Mo4 Cu + W + prášok V 1084 ako spájka z čistej Cu PtSn (70/30) E 1072 Au R 1063 obr. 4,5-2 Mo mriežka CuAu (70/30) CuAuNi (62/35/3)19 A 980 [1010]18 980 [1025]18 obr. 9,3-37 Fe, Cu, kovar W, Mo súčiastky elektrónok NiMn (43/57) M calOOO Ti s inými kovmi CuSi (97/3) Ag Ag + W - prášok10 A R V 970 1025 960 obr. 9,3-41 Cu na Cu Fe a Ni s náhradnou vrstvou spájky ako spájka z Čistého Ag W, Mo AuNi (82/18) M 950 obr. 9,3-38 W, Mo CuSnAg (85/8/7) 946 [985]18 Cu, kovar W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 41 / 42 Zloženie (váhové %) ň Bod tavenia °C Pozri: Vhodné na spájkovanie Nevhodné na spájkovanie AgCuSn (59/31/10) CuP (91,6/8,4) Agln (80/20) E 720 [740]18 714 [751]18 693 obr. 9,3-36 20 Cu13 Fe, zliatiny-Fe, m, Mo, W AgCuln (63/27/10) AgCuSn (53/32/15) CuAgP (80/15/5)6 AgCdZnCu (50/18/16,5/15,5)« 685 [710]18 670 [7Ö0]18 640 [704]i8 627 [635]18 pre stupňové spájkovanie v elektrónkach 20 Cu-Cu13 14 Fe, zliatiny-Fe, Ni, Mo W AgCuSn (42/33/25) Áuln (80/20)8 600 [630]18 550/630 20 Au D 450-500 tab. 9,3-10 Cu a poměděné čiastky PbAg (98/2) CdZnAg (78,4/16,6/5) E 304 280 [305]18 Cu-Cu14 najmä lamelové chladiče na Cu vonkajšej anódy 14 Sn R 232 Cu, Pt, Ffc16 SnAg (89/11) 221 i« SnPb (63/37) In E 183 156 na predbežné pocínovanie Cu14 17 SnPbCd (50/25/25) 150 pre postriebrené plochy skla1*-16 W. Espe: Technológia hmot vákuovej techniky, SAV, Bratislava 1960 Vakuová fyzika 2 42 / 42