Čerpací systémy
1. Měření vodivosti vakuových spojů - rotační olejová vývěva
- Lávat, VRO-05-21, 5 m3^1
2. Kalibrace manometru - membránová + turbomolekulární vývěva
- Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
3. Graduace Penningova manometru - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, TSH 071 E, 60 l/s pro N2
4. Měření parciálních tlaků plynů - membránová + turbomolekulární vývěva - Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku - rotační olejová vývěva - Balzers, DUO 5.6, 5 m3h_1 při 133 Pa
6. Naparování tenkých kovových vrstev - Scroll + turbomolekulární výveva - Oerlikon, Scrollvac SC30D; Pfeiffer- HiPace 700, 685 l/s pro N2
7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou -
membránová + turbomolekulární vývěva
- Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
8. Čerpací efekt molekulového síta - zeolitová a rotační olejová vývěva - Lávat, VRO-05-21, 5 m3^1
9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy -
membránová + turbomolekulární vývěva
- Pfeiffer, HiCube 80 Eco, 67 l/s pro N2
10. Seznámení s iontovou vývěvou - iontová vývěva, GammaVacuum TiTanl0S-CV, 10 l/s pro N2
Rotační olejové vývevy
vyztužená hadice pro připojení pořadí fází - směr rotace zahřátí na pracovní teplotu zavzdušnění po vypnutí údržba - výměna oleje
Praktikum z vakuové fyziky
3 / 7
Turbomolekularní vyvěvy
DCU400     TC 400 =>■ HiPaceľOO, čerpací rychlost 685 l/s pro N2
DCU =>■ TC600 =>■ TMH 071P, čerpací rychlost 60 l/s pro N2 DCU     TC110     HiPace80, čerpací rychlost 67 l/s pro N2
HiCube 80 Eco
DCU     TC110 - elektronika, sběrnice RS485 HiPace80 - 67 l/s pro N2, příruba ISO-K 63/CF 63 membránová vývěva - MVP 015-2, čerpací rychlost 0,5 m3/h údržba - výměna olejové patrony
Praktikum z vakuové fyziky
5 / 7
Ovládací jednotka DCU + TC110
LCD display a membránová klávesnice sběrnice RS485
možnost připojení aktivního manometru řada nastavitelných parametrů
• 002 - Stanby
• 023 - MotorPump
• 308 - SetRotSpd - maximální frekvence otáček
• 309 - ActualSpd - aktuální otáčky
• 310 - DrvCurrent
• 326, 330, 342, 346 - teploty
• 340 - Pressure - měření tlaku
• 700 - RvTimeSval - startovací čas
• 717 - StdySval - nastavení rychlosti pro Stanby
• 738 - Gaugetype
mice
RS232 - 1962; max. délka kabelu až 300 m RS485 - 1983; max. délka kabelu až 1200 m USB - 1995; max. délka kabelu 5 m
Ethernet - 1972; dnes konektor RJ45 - kroucená dvoulinka, max. délka 100 m
I2C
Profibus DeviceNet
bezdrátové připojení - WiFi, Bluetooth, ...
Praktikum z vakuové fyziky
7 / 7