Praktikum z vakuové fyziky
A _
Úloha 3: Graduace Penningova manometru
Úvod
Tato úloha se zabývá měřením vlastností Penningova výbojového manometru.
Aparatura se skládá z membránové a turbomolekulární vývěvy, ovládacího panelu a elektroniky pro manometry. Pro měření tlaku jsou použity dva kombinované manometry: jeden ionizační se studenou katodou + Pirani a druhý ionizační se žhavenou katodou + Pirani.
Kontrolní otázky
• Na jakém principu funguje ionizační manometr se studenou katodou?
• Jak závisí výbojový proud na tlaku (kalibrační křivka Penningova manometru)?
• Proč nestačí aparaturu čerpat turbomolekulární vývěvou? Úkoly a pracovní postup
• Prohlédněte si aparaturu a zejména Penningův manometr.
• Nejprve změřte závislost výbojového proudu Penningova manometru na napětí, pro dva různé proudy Iq, které tečou elektromagnetem.
i
• Závislost proudu na napětí vyneste do grafu.
• Zadruhé změřte závislost výbojového proudu Penningova manometru na proudu cívkou magnetu, pro dvě různé hodnoty napětí.
• Závislost výbojového proudu na proudu cívkou magnetu vyneste do grafu.
• Změřte kalibrační křivku Penningova manometru, tzn. závislost výbojového proudu na tlaku pro dvě různé hodnoty napětí. Okomentujte průběh kalibrační křivky.
2