Shrnutí předchozí lekce 1 • SEM/TEM: • SEM: po řádcích skenujeme povrch vzorku pomocí elektronového svazku • TEM: prochází e. svazek skrz vzorek • Zdroje elektronů (e. tryska, e. dělo) • sekundární emise, termoemise (W elektroda, LaB6, CeB6), autoemise (Schottkyho katoda) • Elektromagnetické čočky • v mag. poli se dráha urychleného e. zakřivuje působením Lorentzovy síly -> elmag. čočky (solenoid) • vady: otvorová, chromatická, osový astigmatismus • Interakce e. s látkou • pružný/nepružný rozptyl, excitační objem • PE, SE, AE, BSE, katodoluminiscence, charakteristické RTG záření, brzdné záření • Poškození vzorku • vyražení atomu vzorku, odprášení, zahřívání vzorku, nabíjení (kritická energie), kontaminace • čištění vzorku Skenovací elektronový mikroskop (SEM, REM) • SEM (REM) • Elektrony dopadají na pozorovaný preparát a interakcí s hmotou vyráží ze vzorku elektrony. Tyto elektrony jsou pomocí vhodného potenciálu přitahovány na detektory, které vytváří signál upravený pro zpracování v zobrazovacím systému. Výsledným obrazem je snímek, který zachycuje povrchovou strukturu preparátu. https://www.youtube.com/watch?v=uQ1gCIkCbIQ&t=10s pozn. v animaci je chyba-skenování je provedeno vychylováním svazku PE, nikoliv posunem vzorku 2 SEM (REM) Hlavní parametry: • zvětšení až 1×106 • rozsah energií 200 eV - 30 keV • rozlišení 1,5 nm-0,5 nm Hlavní typy informací o vzorku: • topografie • materiálové složení • krystalografie • elektronová struktura • luminiscenční vlastnosti • mikro-magnetismus • elektrické vlastnosti BSE -backscattered electrons SE -secondary electrons SC -specimen current EBIC-electron beam induced current TE -transmitted electrons 3 Elektronově optická soustava SEM Cílem je vytvoření vychylovaného zaostřeného elektronového svazku v rovině vzorku s • co možná nejmenším průřezem a homogenním rozložením elektronů • minimálním energiovým rozptylem • vysokou proudovou hustotou • malým (žádným) zkreslením vychylovacího systému Základní parametry ▪vady zobrazení ▪velikost stopy v rovině vzorku ▪přístrojové rozlišení ▪proud ve stopě ▪hloubka ostrosti ▪zvětšení Hlavní části ▪zdroj elektronů ▪elektromagnetické a elektrostatické čočky ▪korektor astigmatismu ▪rastrovací systém 4 SEM-zdroje elektronů Tlak [Pa] Jas [A/cm2sr] Velikost stopy r [μm] Energiový rozptyl ΔE [eV] Termoemise(W) 10-3 2*104 10-50 1-3 LaB6 10-4 105 10-50 0,5-2 Schottkyho emise 10-4 108 1 0,4-0,6 Autoemise 10-4 109 0,003 0,2-0,4 Termo-emisní katoda. Potenciálová bariéra na přechodu kov-vakuum a pokles potenciální energie V(z) v závislosti na růstu elektrostatického pole E pro Termo-emisní, Schottkyho (při vyšších T) a Autoemisní (RT) katodu. 5 Elektronové čočky Elektronový svazek je potřeba během průchodu optickou soustavou fokusovat. Využívá se elektrické nebo magnetické pole. Nejčastěji se využívají elektromagnetické čočky, ale někdy se používají i pevné magnety. Elektrostatické čočky se používají v elektronových tryskách. 6 Pro fokusaci tenkou elektrostatickou čočkou platí vztahy, které jsou výsledkem řešení Newtonových rovnic sestavených na základě Gaussovy věty, jež se používá pro výpočet elektrostatických polí a rozložení elektrické intenzity v okolí vodiče. a) Elektrostatická čočka Pro fokusaci elmag. čočkou platí vztahy, které jsou výsledkem řešení Newtonovských rovnic sestavených na základě Biot-Savartova zákona použitého pro výpočet magnetického pole a rozložení mg. indukce v okolí vodiče. b) Elektromagnetická čočka Elektrostatická čočka 7 1) Elektron vstupuje do el.statického pole čočky a hodnota intenzity elektrického pole E=0 se prudce změní na 𝐸 = (𝜑0−𝜑 𝑖) 𝑙 působící radiálně směrem k ose čočky, aniž se změní potenciál 𝜑 = 𝜑0. Elektron získá přírůstek radiální složky rychlosti Δ𝑣𝑙𝑟 popsaný rovnicí: Δ𝑣1𝑟 = 𝑒 2𝑚𝑣0 ∙ 𝑟 ∙ (𝜑0−𝜑𝑖) 𝑙 , kde 𝑣0 je paraxiální rychlost (blízké ose) e., 𝜑0 je potenciál bez vlivu el.stat. pole čočky, 𝜑𝑖 je max. potenciál el.stat. pole čočky, l je aktivní délka čočky, r je vzdálenost od osy čočky. 2) Elektron je uprostřed čočky a intenzita el. pole zůstává konst. 𝐸 = (𝜑0−𝜑 𝑖) 𝑙 , ale potenciál se mění 𝜑 = 𝜑𝑖. Elektron získá přírůstek rychlosti Δ𝑣2 = 𝑣𝑖 2 − 𝑣0 2 = − 2𝑒 𝑚 ∙ (𝜑0−𝜑𝑖), kde 𝑣𝑖 je maximální rychlost e. ve směru osy Z 3) Elektron opouští čočku a intenzita el. pole zůstává konst. 𝐸 = (𝜑0−𝜑 𝑖) 𝑙 , se skokově mění na E=0, aniž se mění potenciál 𝜑 = 𝜑𝑖. Elektron získá záporný přírůstek radiální rychlosti 𝑣2𝑟 Δ𝑣2𝑟 = − 𝑒 2𝑚𝑣𝑖 ∙ 𝑟 ∙ (𝜑0−𝜑𝑖) 𝑙 Celkový přírůstek radiální rychlosti je dán součtem přírůstků v bodě 1 a 3. Ohniskovou délku čočky lze spočítat na základě rychlosti elektronu a rozměru čočky. Podstatnou vlastností elektrostatické čočky je, že elektrony získají nejen radiální přírůstek rychlosti, ale také axiální. Průchodem čočkou elektrony nerotují kolem axiální osy 𝑣 𝜑 = 0 Na obrázku jsou patrny tři fáze pohybu elektronu v elektrostatickém poli čočky. Magnetická čočka Řez symetrickou magnetickou čočkou, která zmenšuje křižiště P do křižiště Q faktorem M = q / p křižiště ferromagnetický materiál vinutí clona Br-radiální složka magnetického pole Bx-axiální složka magnetického pole 8 Elektromagnetická čočka 9 1) Elektron vstupuje do magnetického pole čočky a hodnota magnetické indukce B=0 se prudce změní na 𝐵 = 𝜇0 𝑁𝐼 𝑙 . Azimutální složka rychlosti elektronu 𝑣 𝜑 = 0 se změní dle rovnice: 𝑣 𝜑 = − 𝑒 𝜇0 2𝑚 ∙ 𝑟𝑁𝐼 𝑙 , kde 𝜇0 je permeabilita vakua, N je počet závitů cívky, I je proud protékající cívkou. 2) Elektron je uprostřed čočky a magnetická indukce magnetického pole zůstává konst. 𝐵 = 𝜇0 𝑁𝐼 𝑙 . Azimutální složka rychlosti zůstává konstantní podle rovnice výše. Elektron získá přírůstek radiální rychlosti 3) Elektron opouští čočku a magnetická indukce magnetického pole 𝐵 = 𝜇0 𝑁𝐼 𝑙 se prudce mění na B=0. Azimutální složka rychlosti e. nabude původní nulovou hodnotu 𝑣 𝜑 = 0. Radiální složka rychlosti zůstane nezměněna podle rovnice z druhého kroku. Δ𝑣2𝑟 = − 𝑒 2𝑚𝑣𝑖 ∙ 𝑟 ∙ (𝜑0−𝜑𝑖) 𝑙 Ohniskovou vzdálenost čočky lze spočítat na základě rychlostí elektronu a parametrů čočky. Podstatná vlastnost elmag. čočky však je, že elektrony průchodem čočkou získají pouze radiální přírůstek rychlosti. Elektrony průchodem čočkou rotují kolem axiální osy, výsledná dráha pohybu elektronu čočkou má tvar spirály, kde při opuštění čočky azimutální složka rychlosti opět nabývá nulovou hodnotu. Na obrázku jsou patrny tři fáze pohybu elektronu v elektromagnetickém poli čočky. ∆𝑣𝑟 = − 𝑒 𝜇0 𝑁𝐼 2𝑚𝑙 ∙ 𝑟𝐼 𝑣 Kondenzorové čočky Kondenzorové čočky-optimalizace aperturního úhlu • první čočky za elektronovým zdrojem • v SEM se používají na zmenšení zdroje a především na kontrolu proudu v systému - nezávislá volba proudu a aperturního úhlu • v TEM navíc definují režim ozáření vzorku • pokud je excitace čočky silná, počet e. procházející aperturou objektivu je malý, ohnisková vzdálenost čočky se zkrátí a tím se zmenší velikost elektronového svazku • normálně je kondenzorová čočka silně buzena pro pozorování obrazu s vysokým rozlišením, aby se získala malá velikost svazku, a slabě buzena pro analýzu, jako je EDS, aby se získal velký tok proudu • SEM vybavený termoemisním zdrojem využívá vícestupňový systém kondenzorových čoček k řízení průměru svazku v širokém rozsahu. Protože stopa svazku je velká až 20 µm, musí být zmenšena na asi 1/1000 s vysokou mírou redukce • SEM vybavený Schottkyho emisním dělem má zdroj elektronů o velikosti 15 až 20 nm, a proto je povolena čočka s nízkou mírou redukce Objektivové čočky • nejkritičtější místo v mikroskopu, mají největší efekt na rozlišení, zvětšení a vady systému • v SEMu se zpravidla používají magnetické objektivové čočky různého designu i vlastností • elektrostatické čočky se používají v případě, pokud chceme vyloučit vliv magnetického pole na vzorek 11 Příklady magnetických čoček pro SEM Simulace kondenzorové magnetické čočky. Simulace objektivové magnetické čočky 12 Velikost stopy v rovině vzorku Lineární zmenšení čočky (M) můžeme odvodit z paprskového diagramu s využitím geometrické optiky 13 svazek PE Velikost stopy v rovině vzorku 1) Zmenšení jednou čočkou 2) Zmenšení soustavou čoček Aperturní úhel je dán vztahem: Paprskový diagram elektronově-optické soustavy SEM 14 Vady zobrazení a) Otvorová vada (čočka nefokusuje e. do jednoho bodu) b) Chromatická vada (e. ve svazku mají různou energii=>různé vychylování čočkou) c) Osový astigmatismus (e. svazek a mg. pole je nesymetrické - nutno kompenzovat) d) Difrakční vada 15 Přístrojové rozlišení, velikost stopy Proud ve stopě I, velikost stopy dG a aperturní úhel α svazku spolu souvisejí vztahem: Celková velikost stopy: dp velikost stopu primárního svazku elektronů dG zmenšený obraz dS ,dC ,dD rozptylové kroužky dané otvorovou, chromatickou a difrakční vadou β jas elektronové trysky E energie elektronu (ΔE je jeho energiová šířka, λ je vlnová délka) CS ,CC koeficient otvorové a chromatické vady KS ,KC ,KD numerické konstanty, obvykle KS = 0.5, KC = 1, KD = 0.6 Alternativní aproximace [J.E. Barth, P. Kruit: Optik 101 (1996), 101] KS = 0.18, KC = 0.34, KD .54 16 Přístrojové rozlišení, velikost stopy TEG SEM (SEM s termoemisním zdrojem e.-levnější alternativa) β=105 A cm-2 sr-1, I= 5pA, ΔE=2eV, CS=50 mm, CC=-20 mm FEG SEM (SEM s autoemisním zdrojem e.-pokročilejší alternativa) β=109 A cm-2 sr-1, I= 100 pA, ΔE=0.2eV, CS=1.9 mm, CC=-2.5 mm Průměr stopy v rovině vzorku, grafy jsou vypočteny dle rovnice [1]- - - - resp. [2] z předchozího snímku 17 Rastrovací systém Dvě patra vychylování umožňují vychylovat e. svazek po povrchu vzorku, je-li splněna podmínka Elektronový svazek při každém úhlu výchylky vychází ze stejného bodu na optické ose (tzv. pivot point) a protíná optickou osu ve středu clony Ap v blízkosti objektivové čočky OL; tehdy jsou vady zobrazení minimální. Pokud je splněna podmínka Platí rovnice [1] pro všechny úhly θ Zvětšení M: A, B – dva páry vychylovacích cívek (tzv. deflektory) pro vychýlení ve směru x a y. Ap – aperturní clona OL – pólový nástavec objektivové čočky S – vzorek (rastrovaná plocha) 18 Detektor sekundárních elektronů Velikost detekovaného proudu: σ – koeficient sekundární emise C – sběrová účinnost detektoru Původní návrh: Everhart T.E. a Thornley R.F.M., J. Sci. Instruments 37 (1960) 246. Everhart-Thornley (E-T) detektor • SE emitované ze vzorku jsou směrovány pomocí elektrody (kolektor) na které je vloženo napětí až stovky V na scintilátor • vedené SE jsou urychleny vysokým napětím +10 kV aplikovaným na Al-film scintilátoru a dále pomocí scintilátoru přeměněny na světlo (fotony) • povrch scintilátoru je potažen hliníkem, aby se zabránilo vybíjení a degradaci povrchu) • vzniklé fotony jsou pomocí fotonásobiče (PMT) přeměněny na elektrický proud, který je zesílen a následně detekován. • pomocí ET detektoru je také detekováno několik množství zpětně odražených elektronů • ET detektor je umístěn v prostoru mezi čočkou objektivu a vzorkem (v boční části komory) 19 Simulace sběrové účinnosti detektoru SE pólový nástavec objektivu ET detektor Trajektorie SE emitovaných pod různým polárním a azimutálním úhlem Rozložení ekvipotenciál při různých WD WD=10 mm WD=20 mm Trajektorie SE dopadajících na scintilátor Sběrová účinnost detektoru SE v závislosti na pracovní vzdálenosti 20 BSE detektor Scintilační detektor zpětně odražených elektronů (BSE) 21 Křemíkový polovodičový detektor-běžně užívaný • využívá fotodiodu PIN – při vstupu BSE vznikne pár e(-).-díra(+) v I vrstvě->tok e(-) do N a díra(+) do P => zesilováním proudu tokem e.(-) a díra(+) vzniká BSE obraz • prstencová tenká deska s otvorem uprostřed umístěná pod objektivem-vysoká účinnost • na detektor není aplikováno napětí (na rozdíl od SE-detektoru), protože BSE mají dostatečnou E k dopadu na detektor • často rozdělen na dva (nebo čtyři) segmenty –při součtu signálů vzniká koncentrační obraz, při odečtení vzniká topografický obraz • může být doplněn dalším polovodičovým detektorem pro detekci BSE pod nízkým úhlem -> lepší stereoskopický obraz BSE +BSE-topo, diamond grindstone, 10kV Simulované trajektorie BSE (vlevo) a SE (uprostřed) pro imerzní magnetickou čočku, počáteční úhel od θ = 0° do 90° s krokem 10°, EBSE=1keV, ESE=5eV, EPE=1keV, pracovní vzdálenost 8mm. Zvětšený detail prostředního obrázku (napravo) ukazuje tzv. „bottle effect“: SE emitované pod velkým polárním úhlem jsou magnetickým polem vráceny ke vzorku a nepodílí se tak na tvorbě obrazu 22 Detektory-trajektorie e. Detektory-schéma umístění Katodová čočka Magellan TM XHR SEM - vložením předpětí na vzorek dojde ke zpomalení e. - vhodné pro citlivé vzorky (např. org.) Rozmístění detektorů Hitaschi SU 8000 SEM 23https://www.youtube.com/watch?v=i-gtVf6GhsA Zobrazení vzorku různými detekčními systémy-vliv působení pole na vzorek 24 Detektory-aplikace elektronový sloupec SEM Tescan Lyra Vzorek AZ91 (Mg+Al, Zn, Mn) U=5,0 kV SE in-lens SE BSE in-lens BSE Zobrazení vzorku různými detekčními systémy-vliv působení pole na vzorek 25 Detektory-aplikace elektronový sloupec SEM Tescan Lyra Vzorek AZ91 (Mg+Al, Zn, Mn) U=10,0 kV SE in-lens SE BSE in-lens BSE Zobrazení vzorku různými detekčními systémy-vliv působení pole na vzorek 26 Detektory-aplikace elektronový sloupec SEM Tescan Lyra Vzorek AZ91 (Mg+Al, Zn, Mn) U=20,0 kV SE in-lens SE BSE in-lens BSE Zobrazení vzorku s nečistotami různými detekčními systémy-vliv působení pole na vzorek 27 Detektory-aplikace elektronový sloupec SEM Tescan Lyra Vzorek Al-CuZn U=10,0 kV 28 Detektory-aplikace Zpracování detekovaného signálu Hlavním faktorem, který určuje parametry přístroje, jsou náhodné fluktuace primárního svazku elektronů. Lidské oko je schopno rozlišit oblast s jasem B od sousední oblasti s jasem B+dB, je-li splněna podmínka: 29 , kde S je signál odpovídající jasu B a N je šum signálu kontrast obrazu je C = dS/S Doba trvání jednoho obrazového elementu (předpokládáme stejné rozlišení ve směru x a y) 30 Zpracování detekovaného signálu Časová závislost videosignálu podél jednoho řádku (je uvažována pouze první harmonická vlna signálu) N – počet sloupců v obraze TL – trvání jednoho řádku Poměr signálu k šumu (S/N) detekovaného signálu 31 Zpracování detekovaného signálu počet elektronů na obrazový element ne/p (černé čáry) a poměr signálu k šumu pro statistické fluktuace S/N v obrazovém elementu (červené čáry) v závislosti na době trvání obrazového elementu Tp pro různé hodnoty detekovaného proudu IC σ – koeficient SE C – sběrová účinnost detektoru Ip – primární proud elektronů Velikost detekovaného proudu: Vakuové techniky-jednotky tlaku Základní SI jednotkou tlaku je pascal, kde Pa=N·m-2=kg·m-1·s-2. Vybrané další jednotky tlaku: torr je hydrostatický tlak 1 mm Hg sloupce na hladině moře při 0°C atm je fyzikální atmosféra a vychází ze standardního tlaku atmosférického vzduchu psi (z angl. „pound per square inch“) libra na čtvereční palec odpovídá tlaku g·lb·in-2 na hladině moře psf (z angl. „pound per square foot“) libra na čtvereční stopu odpovídá tlaku g·lb·ft-2 na hladině moře kp·cm-2 je kilopond na centimetr čtvereční, tzv. technická atmosféra (at) a odpovídá tlaku g·kg·cm-2 na hladině moře 32 Vakuový systém Vnitřní prostor mikroskopu, ve kterém se pohybují elektrony musí být vakuovaný: • Elektronová tryska musí být izolována vakuem, protože vzduch není dostatečně dobrým izolantem. Vzniká nebezpečí ionizace vzduchu a následného elektrického výboje mezi anodou a katodou trysky • Kontaminace: vzduch obsahuje molekuly O2, N2, CO2, H2O, uhlovodíky…, které způsobují kontaminaci tubusu i pozorovaného objektu (vzorku) • Rušivý signál: snaha zabránit náhodným srážkám urychlených primárních elektronů s molekulami vzduchu, které by vedly ke změnám jejich energie a směru pohybu. Na dosažení pracovního vakua (minimálně 10−3 až 10−5 Pa) musí být mikroskop vybaven dostatečně výkonnými vývěvami mnoha různých typů. I přes vysoký stupeň vakua dochází ke kontaminaci vnitřku tubusu zbytky vodních par a molekulami uhlovodíků, které se tam mohou dostat z odparů oleje vývěv nebo těsnících tuků. To vše ovlivňuje kvalitu obrazu. Proto se používá speciální antikontaminační komůrka, která je chlazena kapalným dusíkem z Dewarovy nádoby umístěné vně tubusu (nebo Peltierovým článkem). Tím se snižuje tenze vodních a uhlovodíkových par, které potom kondenzují na komůrce 33 Zdroj vakua-vývěvy • Transportní přenášejí molekuly od vstupního hrdla k výstupnímu (výfukovému) hrdlu • Mechanické vývěvy • pístová vývěva • rotační olejová vývěva • membránová vývěva • Rootsovo čerpadlo • turbomolekulární vývěva • Paroproudé (difúzní) vývěvy • Sorpční molekuly uschovávají uvnitř (nemají výfukové hrdlo) • kryosorpční vývěva • titanová sorpční vývěva • iontová sorpční vývěva • kondenzační vývěva 34 Zdroj vakua-vývěvy 35 Mechanické vývěvy Pístová vývěva • nejjednodušší řešení-s pracovní komorou měnícího se objemu pomocí pohyblivého pístu • historická konstrukce se dnes již nepoužívá, ale funguje i s dřevěným pístem 36 Mechanické vývěvy Rotační olejová vývěva • kmitavý pohyb pístu nahrazen rotačním pohybem • nejčastější konstrukce s lopatkami, místo dotyku lopatek se statorem je krizové • otáčky 300 – 1500 min-1 • čerpací rychlost do 100 m3/hod • mezní tlak: jednotky Pa 37 Rotační olejová vývěva (ROV) • Zpětný tok: čerpaný plyn prochází netěsnostmi mezi sacím a výfukovým hrdlem, kritické je místo styku rotoru a statoru • olejové páry-olej se intenzivně odpařuje, teplota pumpy bývá dost vysoká (až 90°C) • Význam oleje: • těsní • maže • chladí lopatky olej je velmi důležitý, je nutné kontrolovat průběžně množství a kvalitu a měnit ho vývěva olej neustále přečerpává olejové spaliny jsou karcinogenní, je nutný filtr nebo vývod z laboratoře pro čerpání různých par se užívají různé oleje 38 Rotační olejová vývěva • Snížení zpětného toku olejových par • dnes jsou jen dvoustupňové rot. vývěvy na společné hřídeli-co 1. vyfukuje, to 2. nasává • druhý stupeň již pracuje se stlačeným plynem • čerpací rychlost se nemění, ale klesne zpětný tok čerpaného plynu (vzduchu) • mezní tlak klesne podle druhu oleje na 0,5 Pa (minerální olej) až 0.05 Pa (silikonový olej) • Gazbalast • ventil k připouštění malého množství vzduchu • tím stoupne tlak ve výfukové komoře vývěvy a ventil se otevře dříve než dojde ke kondenzaci vodních par – zamezí vzniku emulze voda-olej • lehké zhoršení mezního tlaku a čerpací rychlosti 39 Membránová vývěva • píst nahrazen pohyblivou kmitající membránou (nebo sadou membrán) • tichý chod, bez olejových par • menší čerpací výkon https://www.youtube.com/watch?v=2E1km-qDkqc&ab_channel=SriramBalasubramanian 40 Rootsovo čerpadlo • bezkontaktní otáčení dvou rootsových hřídelů s průřezem do tvaru 8 • vysoký čerpací výkon (až 25 000 m3/hod) • vyšší dosažitelné vakuum (oproti ROV), bez olejových par • musí být předčerpaný (obvykle rotační olejovou v.) 41 Turbomolekulární vývěva • pracuje na základě udělení hybnosti částicím plynu směrem k výstupu (ot. 25- 90 tis/min) • potřebuje molekulární proudění plynu • nejlépe čerpá těžké sloučeniny • je nutné předčerpání (obvykle ROV) • pracovní tlak 1- 10-8 Pa • čerpací rychlost: až stovku dm3s-1 42 Difúzní vývěva • olejové páry (dříve rtuť) získají průchodem tryskou nadzvukovou rychlost • molekuly čerpaného plynu se difuzí dostanou do proudu olejových par a jsou strhávány ve směru čerpání • pro zvýšení efektivity se obvykle zařazuje několik trysek za sebou (3-4) • olejové páry dopadlé na stěnu vývěvy zkapalní a ztečou zpět do varníku • nutné předčerpání ROV • před rozšířením turbomolekulárních pump to byla nejrozšířenější vysokotlaká vývěva 43 Sorpční vývěvy • molekuly uschovávají uvnitř (nemají výfukové hrdlo) • kryosorpční vývěva • plyny pohlcovány přes aktivní uhlí nebo zeolit při nízkých teplotách (liq. N2) • titanová sorpční vývěva • čerstvě napařená vrstvička Ti pomocí nahřívaného drátku • kondenzační vývěva • plyny z čerpaného prostoru jsou odstraňovány jejich kondenzací na chladném povrchu (kapalné H2 nebo N2) • iontová sorpční vývěva (viz následující slide) 44 Iontová sorpční vývěva • kombinuje princip transportních a sorpčních vývěv: výboj mezi anodou a katodami ionizuje čerpaný plyn, vnější magnetické pole ovlivňuje pohyb vzniklých iontů • které z povrchu elektron odprašují Ti. Atomy Ti se usazují na stěnách a vážou plyny (především O2, N2, H2) • Mezní tlak až 10-9 Pa 45 Vybrané aplikace 46 Mikrostruktura dlouhodobě žíhaných vzorků soustavy Al-Cu-Zn Vybrané aplikace 47 Mikrostruktura dlouhodobě žíhaných vzorků soustavy Ag-Se-Sn Vybrané aplikace 48 a) (HR)-TEM nanočástic Ag-Cu; b) TEM/SEM NPs AgCu před a po DSC a) b) Vybrané aplikace 49a) (HR)-TEM nanočástic Au-Ni; b) SEM NPs AuNi po zahřátí na 1200°C a) b)