Vakuové ventily Dělení podle různých principů Podle funkčnosti • oddělovací • napouštěcí • zavzdušňovací • omezení čerpací rychlosti Ovládání • ruční • pneumatický • elektromagnetický Oblast použití • hrubé vakuum • HV vakuum • UHV, XHV vakuum Obr. 6.27. Ventil s talířkem přitlačovaným Obr. 6.28. Ventil těsněný vlnovcem šroubem 1 — rukojeť; 2 — těsnění; 3 — těsnicí kroužek; 4 - horní příruba; 5 - talířek; 6 — dolní příruba; 7 — těsnění talířku J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 2/32 Obr. 6,32. Ventil pro nízké vakuum s membránovým těsněním (firma Leybold) Obr. 6.33. Řez ventilu s kuželovým čepem a membránovým těsněním pro ultravysoké vakuum J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 3/32 kowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 □ - = Vakuová fyzika 2 4/32 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 5/32 Stainless stébel Copper Shim Knife maniioW edge Fig. 7.65 Ultra-high vacuum valve. After Baker (1962). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 6/32 Monel Fig. 7.63 Closing systems of all-metal valves; (a) with flat silver ring (Bills and Allen, 1955); (b) with aluminum conical ring (Kienel and Lorenz, 1960); (c) with copper poppet (Parker and Mark, 1961). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Jehlový ventil J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 8/32 EVN-116 firemní mat. Pfeiffer Vakuová fyzika 2 9/32 UDV-046 J-'-- L- i-a 1 1 jd DN 40 CF- DN 16CP-R •0 r* UDV 046, All-metal gas dosing valve firemní mat. Pfeiffer min. 1 x 10 9 hPal/s Vakuová fyzika 2 10 / 32 Deskový ventil F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuová fyzika 2 11 / 32 deskové ventily - při otevírání dif.tlak menší než ~ 30 ventily s kovovým těsněním - omezený počet cyklů jehlové ventily - nedotahovat silou zábrusové ventily - dobře namazat □ t3 Elektrické průchodky Vakuum v rozsahu tlaků 1 - 5000 Pa je velmi špatný elektrický izolant. Průchodky vybíráme podle: • napětí proudu frekvence Vakuová fyzika 2 13 / 32 b) lil 8 ô Obr. 6.47. Elektrické průchodky pro slabé proudy a) vodič z plášťového nebo platinovaného drátku zataveného ve skle, b) průtav skleněnou perličkou zatavenou do otvoru v kovové stěně J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 14 / 32 Obr. 6.48. Silnoproudá průchodka skleněnou trubicí í — průtav;2 — sklo; 3 — kovářova čepička; 4 — pájka Obr. 6.49. Silnoproudá průchodka kovovou stěnou s keramickým izolátorem 1 — přívod; 2 — spoj kovu s keramikou; 3 — keramika; 4 — stěna vakuového systému J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Vakuová fyzika 2 □ Si 15 / 32 Přenos rotace do vakua A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 16 / 32 A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 17 / 32 Vakuová fyzika 2 18 / 32 Rotace - ferro kapaliny Vakuová fyzika 2 19 / 32 Load lock Rozebíratelné spoje ASA ISO-KF, (NW) ISO-K, ISO-F CF Wire seal flanges Helicoflex Vakuová fyzika 2 □ 21 / 32 ASA Rotatable ASA Flange Receiver Non rotatable ASA Flange with O-ring Groove firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 □ S1 22 / 32 ISO-KF firemní materiály firmy Pfeiffer Vakuová fyzika 2 23 / 32 Chain Clamp firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 24 / 32 ISO-K, ISO-F CF Vakuová fyzika 2 26 / 32 II ; iQ-3-0-4 1 1*6 \\ V\\V 9- Fig. 7.39 The Conflat seal (Varian). After Wheeler and Carlson (1962). A. Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Vakuová fyzika 2 27 / 32 Wire seal flanges Female Blank i Male Bored firemní materiály firmy Nor-Cal Vakuová fyzika 2 28 / 32 Fig. 17. 10 Metal gasket seals: (a) ConFlat type knife edge seal; (b) Helicoflex Delta seal. F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) Vakuova fyzika 2 29 / 32 tesnení min. tep [ °C] max. tep. [ °C] elastomer FKM -15 150 NBR -25 120 CR -5 120 EPDM -50 130 silikon -55 200 kov Cu -196 200 Cu + Ag -196 450 Al -196 150 In -196 60 Ohebné spoje připojení primárních vývěv • kovové vlnovce • bellows - změna délky při změně tlaku • flexible metal hose • tlustostěnné hadice • hadice s kovovou spirálou Další prvky tlakové spínače 2D a 3D posuvy ohřev a rotace vzorků systémy pro povlaková ní Vakuová fyzika 2 32 / 32