Iontové vývěvy Iontové vývěvy se studenou katodou Diodové výbojové vývěvy Princip Penningův manometr - paralelní řazení, roštová anoda, katody Ti, Ta životnost katody ~ 50000 hodin - 5,7 let nepřetržitého provozu • napětí 2 - 10 kV • magnetické pole 0,01 - 0,2 T B O ion ® oŕom (molekulo) plynu o elektron ohm J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 1 1 ^0 Q,o 2/13 Fig. 14.6 Schematic diagram showing sputter deposition and pumping mechanisms in a Penning cell: ■ Chemically active gases buried as neutral particles; ► chemically active gases ionized before burial; □ inert gases buried as neutral particles; A inert gases ionized before burial. Reprinted with permission from Proc. 4th Int. Vac. Congr. (1968), p. 325, IX Andrew. Copyright 1969, The Institute of Physics. F.OHanlon: A Users Gaude to Vacuum Technology, Wiley (2003) s1 Praktikum z vakuové fyziky N mimus HR 77 JO '///HM/A J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky □ 4/13 10 - - H 8- o 6- N c/) A- 2 0 10 -8 o*. P (Tor Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Čerpací mechanizmus chem. aktivní plyny (C>2,N2,...) ionty lehkých plynů (He, H2,...) difundují do objemu těžší ionty (Ar, Xe,...) jsou na vrstvou Ti složitější molekuly (CH4,...) se fragmenty a atomy maximum čerpací rychlosti je ~ tlaku - 10"8 Pa - chemicky reagují s Ti - nitridy, oxidy po dopadu na povrch katody povrchu katody překrývány novou rozkládají ve výboji na jednodušší 10~4 Pa, klesá asi na polovinu při Argonová nestabilita Time Roth: Vacuum technology, Elsevier, 1990 Praktikum z vakuové fyziky □ t3 7/13 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky 8/13 J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 Praktikum z vakuové fyziky □ S1 9/13 Triodové výbojové vývěvy c) vsiup 0 J- i m i i i i r A ^ 1 s .í i i i i i i i r I I I \'\ I I Ch T5 s I I I fl I I i i rw o J. Groszkowski: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha 1981 □ ► «g Praktikum z vakuové fyziky Tab. 4.19. Relativní čerpací rychlost (vzhledem k čerpací rychlosti pro vzduch) diodových a triodových titanových vývěv (orientační údaje) Plvn TT Deute- . H, (p a) ~ num Diodová vývě\ i\ 2,7 1,9 Triodová vvvévii 2,0 CH4 1.5 Páry olejů H20 CO, 1-1,6 Vzduch N. O- 0,9 i 0,6 Ne He i Ar t 0,12 i 0,1 10,01 0,15i 0,1 -031 (U-