Manometry
aktivní: 0 - 10 V výstupní signál
digitální, sběrnice - RS-232, RS-485, Profibus, DeviceNet,... pasivní - elektronika připojená kabelem, odolné vůči radiaci
Manometry
1. Měření vodivosti vakuových spojů - kapacitní 10 hPa + kapacitní 1000 Torr
2. Kalibrace manometru - kapacitní 1100 hPa; 1,1 hPa + ionizační - studená katoda full range + Pirani
3. Graduace Penningova manometru - ionizační - studená katoda full range
4. Měření parciálních tlaků plynů - žhavená katoda full range
5. Měření čerpací rychlosti metodou konstantního tlaku -
kapacitní měrka 10 Torr
• 6. Naparování tenkých kovových vrstev
- studená katoda full range
• 7. Kalibrace ionizačního manometru se žhavenou katodou
- žhavená katoda full range
• 8. Čerpací efekt molekulového síta - MicroPirani + piezo měrka
• 9. Měření čerpací rychlosti turbomolekulární vývěvy
- žhavená katoda full range
• 10. Seznámení s iontovou vývěvou - žhavená katoda full range
Praktikum z vakuové fyziky
□ ťš1
3/14
Typy manometrů
• ionizační - studená katoda full range - PKR 251, úlohy 2, 3, 6
• Tesla VC 2T, úloha 3
• ionizační - žhavená katoda full range - PBR 260, úlohy 4, 7, 9, 10
• Leybold IM 4, úloha 7
• kapacitní - řada CMR, úlohy 1, 2; Ceravac CTR, úloha 1,5
• Pirani - Balzers TPR 010, úloha 2
• MKS 910 - MicroPirani + piezo měrka, úloha 8
Přesnost manometrů
• studená katoda full range - PKR 251 - 30% pro p < 100 mbar
• žhavená katoda full range - PBR 260 - 15% pro p < 10~2 mbar
• řada CMR - 0,2% of reading
• CTR - 0,2% of reading
Praktikum z vakuové fyziky
□ S1
5/14
MKS 910
I/O Connector
Praktikum z vakuove fyziky 6/14
MKS 910
Analog output VDC (MKS Standard) 4 5 6
8
MicroPirani
Piezo
1.0E-05        1.0E-04        1.0E-03        1.0E-02        1,0E-01        1.0E+00        1.0E+01        1.0E+02 1.0E+03
Pressure torr
(PR3/PR4 output)
manuál MKS - 910
Praktikum z vakuové fyziky
7 / 14
MKS 910
Specifications
Measuring range (N2 and Air): 1 x105 to 1500 Torr MicroPirani
Accuracy ^ (N2) 5x104to 1x10'3Torr: ±10%of reading
1 x103 to 100 Torr: ± 5% of reading
100 Torr to Atm.: ± 25% of reading
Repeatability <1> (N2): 1 x103 to 100 Torr: ± 2% of reading
Piezo absolute
Accuracy Piezo ^ 0.1 to 10 Torr: ±1% of reading
10 to 1000 Torr: ± 0.75% of reading
1000 to 1500 Torr: ± 2% of reading
Repeatability ^ (N2): 10 to 800 Torr ± 0.2% of reading
Supply Voltage: 9-30 VDC
Power consumption: < 1.2 Watt
Fuse (thermal recoverable): 200 mA
manuál MKS - 910
Praktikum z vakuové fyziky
Ovládací jednotka TPG 261
• možnost pripojení aktivního manometru
• typ manometru a rozsah
• jednotky pro tlak - Pa, mbar, Torr
• 2 x relé
• analogový výstup 0 - 10 V
• nastavení ofsetu
• nastavení kalibračních konstant
• rychlost měření 50 s-1
• rychlost zobrazení 10 s_1
• možnost filtrů pro potlačení šumu
• funkce degas pro ionizační měrky se žhavenou katodou
• možnost řízení po sběrnici RS 232
□ t3
IGC100 - ovládací elektronika pro mano
• SRS - Stanford Research Systems, Inc.
• pro Bayard-Alpert ionizační manometry
• nastavení citlivosti
• jemné nastavení emisního proudu elektronu
• možnost připojit Pirani měrku
• analogový výstup, degas režim
• vstupní a výstupní kanály pro řízení procesu
• dotykový display
• RS 232
OMEGA FMA-A2402 - průtokoměr
• Omega Engineering
• 50 sccm, Ar
• termoelektrický princip
• regulační ventil
• přesnost 1% pro kalibrační plyn
• analogový vstup a výstup
S.Ďaďo, LBejček, A. Platil: Měření průtoku a výšky hladiny, Ben, Praha 2005
Praktikum z vakuové fyziky
12 / 14
PS325 - vysokonapäťový zdroj
• SRS - Stanford Research Systems, Inc.
• 2500 V, max. 10 mA, 25 W
• nastavení polarity
• analogový výstup 0 - 10 V
• analogový vstup 0 - 10 V
• zobrazení napětí a proudu
• ochrana při přetížení
OM 402UNI - univerzální panelové měřidlo
Orbit Merret, spol. s r.o.
svorkovnice pro připojení vstupů a výstupů
napětí až 40 V, DC
proud až 20 mA, DC
odpor 100 kO
měření teploty Pt 50, Pt 100, Pt 500, Pt 1000 měření teploty - termočlánky J, K, T, E, B, S, R, N, L přepočet hodnot, relé RS 232, RS 485, ovládací software
Praktikum z vakuové fyziky
14 / 14